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变磁阻式传感器 一、变磁阻式传感器特点 变磁阻式传感器是自感式传感器的一种，自感式传感器又属于电感式传感器类别。 电感式传感器是利用电磁感应把被测的物理量，如位移、压力、流量、振动等，转换成线圈的自感系数L或互感系数M的变化，再由转换电路转换为电压或电流的变化量输出，实现非电量到电量的转换。 电感式传感器具有以下特点： 1、结构简单、传感器无活动的电接触点，因此工作可靠寿命长； 2、灵敏度和分辨率高，能测出0.01μm的位移变化，传感器的输出信号强，电压灵敏度一般每毫米的位移可达到数百毫伏的输出； 3、线性度和重复性都比较好，在一定位移范围（几十微米至数毫米）内，传感器非线性误差仅达到0.05%—0.1%，并且稳定性也较好。同时，这种传感器能实现信息的远距离传输、记录、显示和控制，他在工业自动控制系统中广泛被采用；但是它有频率响应较低、不宜快速动态测控等缺点。 二、结构和工作原理 变阻式传感器的结构和工作原理如图1所示，它由线圈、铁芯和衔铁三部分组成。铁芯和衔铁都由导磁材料，如硅钢片和坡莫合金制成。在铁芯和活动衔铁之间有气隙，气隙厚度为。传感器的运动部分与衔铁相连，当衔铁移动时，气隙厚度发生变化，从而使磁路中磁阻变化，导致电感线圈的电感值变化，这样可以由此判别被测量的位移大小。线圈的电感值L可按如下电工学公式计算: （1） 式中 N——线圈匝数；RM——单位长度上的磁路总磁阻。 图1是变磁阻式传感器基本结构图。 图1 变磁阻式传感器基本结构图 磁路总磁阻可写成： （2） 式中——铁芯磁阻；——空气气隙磁阻； 其中和可以分别由下式求出： （3） （4） 式（3）中，第一项为铁芯磁阻，第二项为衔铁磁阻； ——磁通通过铁芯的长度（m）； ——铁芯横截面积（m2）； ——铁芯材料的导磁率（H/m）； ——磁通通过衔铁的长度（m）； ——衔铁横截面积（m2）； ——衔铁材料的导磁率（H/m）； ——气隙横截面积（m2）； ——空气的导磁率（4π×10.7 H/m）。 由于，常常忽略，因此，可得到线圈电感为： （5） 由式（5）可知，当线圈匝数确定后，改变和A均可导致电感的变化，因此，变磁阻式传感器又可分为变气隙厚度的传感器和变气隙面积A的传感器。使用最广泛的是变气隙厚度的电感传感器。 三、转换电路 变磁阻是电感传感器是利用铁芯线圈中的自感随衔铁位移或空隙面积改变而变化的原理制成的，但实际上线圈不可能呈现为纯电感的，电感L还包含了线圈的铜损耗电阻（与串联），同时存在铁芯涡流损耗电阻（与L并联）；由于线圈和测量设备电缆的接入，存在线圈固有电容和电缆的分布电容，用集中参数C表示（C与L和、相并联），因此，电感式传感器可用图2所示等效电路表示。它又可以用一个复阻抗来等效。 由式（5）可知，当电感传感器线圈匝数和气隙面积一定时，电感量L与气隙厚度成反比，可用图3表示。下面分析变气隙式电感传感器的输出特性。 图2 等效电路 图3 电感传感器的特性 四、输出特性 设电感传感器初始气隙为，初始电感量为，衔铁位移引起的气隙变化量为，从式(5)可知L和之间是非线性关系。那么，初始电感量为： 当衔铁下移时，传感器气隙增大，则电感量却减少，设电感减少量为，那么： 电感量的相对变化为： 当很小时，可将上式展开成级数形式为： （6） 当衔铁上移时，气隙减小，即，电感量增大，则电感的增加量为： 同样展开成级数为： （7） 忽略掉二次项以上的高次项，则与和成线性关系。由此可见，高次项是造成非线性的主要原因，且和是不相等的。当越小时，则高次项迅速减小，非线性得到改善。这说明输出特性和测量范围之间存在矛盾，所以，电感式传感器用于测量微小位移量是比较精确的。为了减小非线性误差，实际测量中广泛采用差动式电感传感器。 由式（6）和式（7），忽略二次以上项后，可得到传感器灵敏度为： （8） 可见，变间隙式电感传感器的测量范围与灵敏度及线性度相矛盾，因此变间隙式电感式传感器适用于测量微小位移的场合。因此常用差动自感传感器较好的解决上述矛盾。 五、差动自感传感器 1、结构和工作原理 变气隙电感传感器可以制作成各种样式（如螺管式电感传感器等），但它们都存在严重的非线性。为了减小非线性，可以让两只完全对称的单个电感传感器合用一个活动衔铁，这样可以构成差动式电感传感器，如差动骆管电感传感器、差动式E形电感传感器等，如图4所示。其结构特点是上、下两个磁铁的几何尺寸、材料、电气参数均完全一致。传感器的两只电感线圈接成交流电桥的相邻桥臂，另外两只桥臂由电阻组成，它们构成四臂交流电桥，供桥电源为交流电压，桥路输出为交流电压。 图4 差动式电感传感器的结构原理 初始状态时，衔铁位于中间位置，两边空隙相等。因此