第7章电容式传感器.pptVIP

* 第7章 电容式传感器 电容式传感器是利用电容器的原理将非电量转化为电容量，实验非电量到电量的转化。电容式传感器有如下特点： （1）优点 1）高阻抗，小功率，因而仅需很小的输入力和很低的输入能量。 2）可获得较大的相对改变量，从而具有较高的信噪比和系统稳定性。 3）动态响应快，能在几MHz的频率下工作。 4）结构简单，应用较广，可以恶劣环境中工作。 5）可以进行非接触测量。待测体可以是导体或半导体。 （2）缺点 1）输出特性的非线性较严重。 2）分布电容的影响较大。这些分布电容不仅降低了转换效率，还将引起测量误差。 7.1 电容式传感器的工作原理及结构 7.1.1 工作原理 忽略边缘效应时，平板式电容器的电容为： 圆筒形电容器的电容为： 7.1.2 结构类型 7.2 电容式传感器的灵敏度及非线性 7.2.1 变极距型平板电容式传感器 电容特性公式为： 当d减小Δd时，电容增加ΔC： 即 当 时，有： 灵敏度为： 实际上： 略去高次项得： 直线1的方程： 直线3的方程： 绝对非线性误差为： 求导并令其等于零得： 最大绝对非线性误差为： 线性度为： 7.2.2 变面积型板状线位移传感器 动极板移动x时的电容为： 灵敏度： 7.2.3 变介电常数传感器 电容式液位传感器的电容量为： 令 则 灵敏度为： 变介电常数型电容传感器的电容量与介质厚度之间的关系为： 7.2.4 差动电容式传感器 图（a）中，动片向上移动Δd时，有： 又因为： 所以： 通常 ，所以按级数展开得： 电容量的变化为： 略去高次项得： 7.3 电容式传感器的测量电路 7.3.1 电桥电路 电桥输出端开路时，电桥的输出电压为： 即 当动极板移动x时，有： 则： 7.3.2 差动脉冲调宽电路 已知： 则： 7.3.3 运算放大器式电路 两个假定： 1）运算放大器增益非常高，输入电压若不使放大器饱合，必须很小，几乎接近零。 2）放大器的输入阻抗很高，因此放大器所吸取的电流与其他电流相比较也近似为零。 输出电压为： 7.4 硅电容式集成传感器 7.4.1 硅电容式集成压力传感器 核心部件：一个对压力敏感的电容器 电容值为： 按小挠度理论有： 在膜片中心处（r=0）挠度最大，为： 因此，最大电容为： 令 则 在 时，把上式对数展开到 的三次项得： 若硅膜片为方形结构，则电容为： 在膜片中心片（x=0，y=0）挠度最大，为： 7.4.2 硅电容式加速度传感器 *