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PAGE PAGE 2 第一章 绪论 1.表面技术的含义： 表面技术是指通过表面涂覆、表面改性或多种表面技术复合处理，改变固体金属表面或非金属表面的形态、化学成分、组织结构和应力状态，以获得所需表面性能。 2.表面技术的分类: = 1 \* GB3 ①表面组织强化：改善表面的显微组织 = 2 \* GB3 ②表面合金化：改善表面的化学成分 = 3 \* GB3 ③表面改性：沉积到表面上形成薄膜 3.表面技术应用目的 （1）加强材料表面保护，降低材料表面的腐蚀、磨损、氧化、疲劳断裂，延长材料的使用寿命。 （2）节约材料。表面层薄，用材少，可以以最低的经济成本来生产优质产品。同时，实现表层与基体性能的最佳配合。 （3）制备新材料和新器件。生产金刚石薄膜、多层膜，各种功能器件。 4.表面技术的应用： = 1 \* GB3 ①主要用于微电子器件的微细加工，是一种加工尺度从亚微米到毫微米量级的制造微小尺寸元器件或薄膜图形的先进制造技术 = 2 \* GB3 ②用于结构材料主要起防护、耐磨、强化、修复、装饰等重要作用 = 3 \* GB3 ③在功能材料方面，利用表面技术科改变材料表面组织结构，从而可以制备和改进一系列功能材料及其元器件 = 4 \* GB3 ④在新材料开发应用方面，可利用表面技术制得金刚石薄膜、类金刚石碳膜、立方氮化硼膜等新材料 = 5 \