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第 7 卷第 3 期 过 程 工 程 学 报 Vol.7 No.3 2007 年 6 月 The Chinese Journal of Process Engineering June 2007 电子级多晶硅生产工艺的热力学分析 1 2 1 李国栋 ， 张秀玲 ， 胡仰栋 (1. 中国海洋大学化学化工学院，山东 青岛 266003 ；2. 德州学院化学系，山东 德州 253011) 摘 要：基于 Gibbs 自由能最小原理，对SiHCl 法生产电子级多晶硅闭环工艺的 3 个反应子系统分别进行了化学反应 3 平衡计算，重点对 SiHCl3