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MEMS航空微时代 　　MEMSEraofAviation 　　HANYing 　　（ChinaAirborneMissileAcademy，Luoyang471009，China） 　　：Microelectronmechanicsystem（MEMS）technologydevelopsonASIC，andhaswidely usedinelectronics，automotive，machinery，chemicalandpharmaceuticalfields，andsoon.Inrecent years，morecountriespayattentiontoMEMSdevicesintheaviationfield.Thispaperintroducesthe promisingMEMSdevicesfirstly，suchasMEMSaccelerometer，MEMSgyroscope，MEMSIMU，theninvestigatesandsummarizestheforeignstudiesofthesesensors.Finally，itintroducestheinitialprogressof MEMSsensorinChina，andpointsoutthedirectionofMEMSaviation. 　　Keywords：MEMSsensor；MEMSaccelerometer；gyroscope；MEMSIMU 　　0 引 言 　　自1962年第一个硅微型压力传感器问世以来，MEMS作为一种将微电子与精密机械融合为一体的新兴微机械技术，得到了迅猛发展。MEMS技术已经在汽车电子稳定系统、GPS辅助导航系统、车辆姿态测量、数码相机稳像系统等方面有了成功应用。 　　MEMS传感器种类繁多，在航空领域有一定应用前景的有MEMS加速度计、MEMS陀螺仪、 　　收稿日期：2013-03-25 　　1979年Roylance和Angell开始压阻式微加速度计的研制。1991年Cole开始电容式微加速度计的研制。至今，MEMS加速度计已成为MEMS传感器中技术最成熟，在商业化产品中应用最成功的传感器。MEMS加速度计在航空航天主要应用在姿态航向基准系统、飞机导航系统、飞行控制系统、制导系统等[2]。 　　1.1 主要特点 　　MEMS加速度计是一种基于HOOK定律的质量块单元，根据测量质量块偏移零点的距离x，弹簧的弹性系数k和已知质量块的质量m来获得加速度值a，由公式（1），（2）可推出（3）。 　　MEMS加速度计根据测量形式可以分为电容式、压电式和压阻式。其区别在于，电容式加速度计利用惯性质量块在加速度作用下引起悬臂梁变形，通过电容值的变化来获得加速度的大小，具有灵敏度高、噪声低、漂移小的特点；压电式加速度计利用物体运动时内置的质量块会产生压力，使支撑的刚体发生应变产生压电效应，从而把加速度转变成电信号输出，具有尺寸小、重量轻、结构较简单、易于实现高精度测量的特点；压阻式加速度计通过压敏电阻阻值变化来获得加速度，其结构、制作工艺和检测电路都相对简单。 　　1.2 国外发展动态 　　美国ADI公司是最早实现加速度计结构和电路单片集成的公司。自1993年至今，以ADXL50为代表的微惯性器件全球销量已超过1亿件[3]。近年来，ADI推出体积更小，功耗更低的三轴加速度计系列。以ADXL330为代表，如图1，其采用小封装4mm×4mm×1.45mmLFCSP，在1.8V时消耗电流为180μA，加速度测量范围±3g，耐冲击强度10000g，并且具有出色的温度稳定性和良好的灵敏度，使得MEMS加速度计能够在导航控制领域得到更广泛、更可靠的应用。 　　LittonSiACTM硅加速度计是一种单质量块三轴加速度计，其量程超过100g，零偏优于20×10-6 g，标度因数稳定性优于5×10-5，是中高精度加速度计的典型代表[4]。LittonSiACTM硅加速度计与陀螺仪共同组成LN-200IMU等惯性测量装置，已成功应用在先进中距空空导弹等武器平台上。 　　Draper实验室研制的谐振式加速度计在世界上处于领先地位。其研制的差分式结构加速度计，基频为20kHz，标度因数为100Hz/g，标度因数稳定性为3×10-6，零偏稳定性为5μg，品质因数Q的典型值大于1×105，主要应用于对稳定性要求较高的领域。 　　瑞士Colibrys公司的RS9010.A，长期偏置重复性总体目标为1.5mg，显示出优异的振动整流特性，其量程为+/-10g。这些性能验证了RS9010. A是未来的高精度航姿参考系统（AHRS）应用的最佳选择之一，如无人机、大型民用飞机、直升机和陆路或海上航行，或任何中精度低