声表面行波器件及其在微纳领域的应用.PDF

114 科技导报2019，37（6） 声表面行波器件及其在微纳领域的应用 董惠娟，王敬轩，李天龙 哈尔滨工业大学机器人技术与系统国家重点实验室，哈尔滨 150001 摘要 声表面行波因其非接触性及生物相容性，在生物医学、诊断学领域得到了广泛关注。 概述了声表面行波（TSAW）发生器件的基本结构，叉指换能器（IDT）的结构、参数、种类及引 起声表面行波的内在机理，讨论了对微流体状态及微流体中粒子的声控制机理；综合当前该 技术国内外研究现状，分析了在微纳领域中声表面行波相对于其他物理场的优势；针对声表 面行波在微纳领域应用的技术难点及研究过程中存在的问题，提出了该技术的研究方向，并 展望了其未来发展趋势。 关键词 声表面波；叉指换能器；声表面行波；微流体；微粒子操纵 近20年来，声表面波（SAW）在微纳领域开始吸引 2）生物相容性好。目前，超声成像已经广泛应用 越发广泛的关注，声表面波泛指在弹性体表面产生并 于产检、孕检、病变检查等各个健康监控环节中，理论 且沿着弹性固体表面传播的各种模式的声波，是英国 及实践均证明对人体没有任何负面影响。而在大多数 物理学家瑞利在1855年研究地震波时发现的，能量主 声表面器件中的声波能量密度与频率均类似于生物成 [1] [10] 要集中在固体表面1~2个波长之内 。迄今为止，声表 像 。因此，有理由相信，经过合理的设计和优化，声表 面波已经在电信行业中的信号传输、信号滤波等方面 面波器件可以和分子、细胞及其他生物样本具有良好 [2] 得到广泛应用 ，其他应用包括触屏感应、生物/化学传 的相容性，并且利用现有的声表面波器件，这一猜测已 [3-8] [11-13] 感、振荡器等 。近些来的研究和实践表明，声表面波 经通过细胞活性及增殖实验被部分证实 。 [9] 在微纳领域可实现对微粒子及微流体的有效控制 。 3）驱动力大、流体流速快。目前的微流体技术很 相对于其他控制方式，声表面波具有以下独特优势。 难对微粒子产生大驱动力和产生高流速，尤其是在高 1）设备简单、紧凑、便宜。声表面波器件已经被广 雷诺数流体中，特征尺寸的减小会进一步阻碍流速的 泛应用于各种小型商业电子系统中，如当代每部手机 增大，很大程度上限制了在医疗诊断和生物化学方面 [14] 中都包含并联声表面波器件及其附属器件，而它们仅 的应用。然而高频声场可以产生混沌对流 ，使流体主 仅占用手机的很小一部分体积。这一广泛应用表明声 要维持在层流状态下，进而实现快速、高效的流体及粒 [15] 表面波器件及其能量供给和驱动器件都具有紧凑、便 子操纵 。目前，声表面波器件可以实现以1~10cm/s