硬碟机相关之MEMS技术及理论.DOC

硬碟機相關之MEMS技術及理論 硬碟機為一高密度資料儲存裝置，其關鍵性零組件為讀寫頭滑塊及碟片的製作。在極高精度的需求之下作高速轉動(5400~20000rpm)，讀寫頭滑塊在碟片上的飛行高度為25nm，若等比率放大實可視為：要求一波音747飛機以2.5mm的飛行高度穩定的飛行在地面上。因此相關衍生的問題有(1)稀薄氣體效應、(2)表面粗糙度效應、(3)分子空氣潤滑理論的建立、(4)讀寫頭滑塊的表面設計、(5)以MEMS製程製作讀寫頭滑塊、(6)碟片製作技術、(7)讀寫頭滑塊動力學分析、(8)讀寫頭滑塊支撐懸臂FEM分析、(9)高速主軸設計等問題。 MEMS加速規[1] 用於偵測及補償讀寫頭相關振動問題 高速主軸(10000~20000rpm)及軸承系統 在高轉速之下，原有以液體潤滑的軸承面臨流體慣性的不可忽略、氣泡產生及兩相流的問題。本計劃考慮改以較精密的空氣軸承設計、分析，並輔以MEMS製程製作其溝槽。 (3) 讀寫頭滑塊空氣軸承表面(ABS)之設計製作、模式建立、分析與模擬 建立MEMS製程 建立分子空氣潤滑模式 建立分析工具(code) 建立模擬軟體 表面量測技術 使用現有的AFM與將購置的Wyko表面量測儀，用以建立粗糙度的模式，並加入分析工具中。另也將建立一套完善的AFM後處理程式，以期能良好建立AFM資料分析能力。 Reference [1] R. Oboe, “MEMS-based accelerometer used in HDD,” Microsystem technology, Vol.8, pp.174-181. [2] Q. D. Zhang, S. H. Winoto, S. X. Chen, J. P. Yang, 2002, “A bi-directional rotating fluid bearing system,” Microsystem technology, Vol.8, pp.271-277. [3] T. Asada, H. Saito, Y. Asaida, K. Itoh, 2002, “Design of Hydrodynamic Bearings for High-speed HDD,” Microsystem technology, Vol.8, pp.220-226.. [4] G. H. Jang, J. W. Yoon, 2002, “Dynamic Characteristics of a coupled Journal and Trust Hydrodynamic Bearing in a HDD Spindle System due to its Groove Location,” Microsystem technology, Vol.8, pp.261-270. [5] K. Matsuoka, S. Obata, F. Toujou, 2002, “Lubrication Evaluation Method for FDBs using TOF-SIMS,” Microsystem technology, Vol.8, pp.228-234. [6] T. Ohkubo, N. Shou, K. Tanaka, et al, 2002, “Mechanical characteristics of a contact optical head slider operating on a metal-layered medium, Microsystem technology, Vol.8, pp.235-243.