ZnxCuxO薄膜的结构和光学性质.pptVIP

Zn1-xCuxO薄膜的结构和光学性质 报 告 人：王晓飞 指导老师：吴雪梅、诸葛兰剑 背景： 氧化锌作为一种新型的半导体材料以其优良的特性越来越吸引科研人员的关注，其优良性能使它在光电器件领域具有广泛的应用前景。 已有许多作者研究了在多种基片上生长不同掺杂金属的ZnO薄膜的光学性质，但关于Cu掺杂ZnO薄膜的光学性质的报道却很少。 内容： 1. Zn1-xCuxO薄膜的制备 2. Zn1-xCuxO薄膜的结构性质 3. Zn1-xCuxO薄膜的光学透射谱 4. 结论 5. 下一步工作 2. Zn1-xCuxO薄膜的结构性质 （1）. 薄膜的XRD图谱 （2）. (002)衍射峰的峰位和FWHM随Cu掺杂量变化关系曲线 （3）. 样品的SEM照片 3. Zn1-xCuxO薄膜的光学透射谱 （1）. 样品的光学透射谱 （2）. 样品的能隙宽度随掺杂量的变化 表1. Cu掺杂量和禁带宽度之间的关系 4.结论 （1）. 在室温下，采用射频磁控溅射法在Si （111）和 石英基底上成功的制备了 Zn1-xCuxO薄膜。 （2）. 随着Cu含量的增加薄膜的结晶质量有所 下降，薄膜的颗粒尺寸也随着变小。 （3）. 通过对样品的透射谱分析，发现样品的