基于mems技新新术的汽车传感器研究探究进展.pdfVIP

V01．22 2007年4月 电工技术学报 NO．4 第22卷第4期 TRANSACTIONSOFCHINAELECTROTECHNICALSOCIETY Apr． 2007 基于MEMS技术的汽车传感器研究进展 吕 良1，3 邓中亮2 刘玉德3 辛洪兵3 (1．北京邮电大学自动化学院北京 100876 2．北京邮电大学电子工程学院 北京 100876 3．北京工商大学机械自动化学院 北京 100037) 摘要 随着汽车传感器的迅速发展和对MEMS(微机电系统)技术研究的深入，基于MEMS 技术的汽车传感器具有广阔的应用前景。本文就MEMS汽车传感器的研究应用现状、MEMS汽 车传感器的分类、制作加工技术和工艺等进行了简述，并详细介绍了几种典型的MEMS汽车传感 器，最后对MEMS汽车传感