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14/11/2004 精密機械振動診斷與改善 王永鵬 南台科技大學 機械工程系 大綱 前言 振動來源 振動診斷實務 振動改善實務 實例介紹 前言 影響精密製程良率之因素： 設備、製程、材料、環境 例：某產品需多套設備共同完成，若每套設備良率為99%， 總良率85%（16套） 總良率72%（32套） 環境條件： 空氣潔淨度、氣流特性、溫度、濕度、振動、噪音、靜電、EMI 前言 前言 前言 前言 振動來源 廠外振源 建築、土木施工 道路交通 高速鐵路 地震 廠外運轉設備 聲音、風 振動來源 振動來源 振動來源 振動來源 廠內振源 廠內施工 附屬運轉設備（Fan、Pump‥‥） 管路振動 人員走動 自動傳輸機構 聲音（75 dB↑） 空氣脈衝‥‥ 設備振源 運動組件 Fan、Pump 管件 振動診斷實務 現象研判 選擇振動量測位置及方向 格子樑、基座、XYZ方向 振動量測 1/3 Octave Band → 判斷是否大於允許值 Narrow Band → 判斷振源 振源判斷 共振 → 寬頻激振源（交通、工事、人員、台車、移動件） 固定頻率 → 轉動設備 振動改善實務 振動之產生與傳遞 Source → Path → Receiver 改善對象 Source：降低振動產生 Path ：隔振 Receiver ：吸振、設備強化、基座強化 改善對策：時效性、經濟性、改善程度 振動改善實務 交通振動之改善 主要廠房距馬路50 m以上 去除障礙物、道路平坦 防振道路之鋪設 交通管制 水池 人員、台車振動改善 高架地板吸振 台車避振 人員走動限制 振動改善實務 Sound Induced Vibration 噪音源改善 噪音源隔音罩 設備隔音罩 管路振動 流線改善 加適當之支撐 管路隔振 管路吸振 振動改善實務 附屬運轉設備 動平衡 吸振 基座共振 加強剛性 增加阻尼 隔振（主動式、被動式） 吸振 振動診斷與改善實例（一） 現象：某廠SEM影像發生鋸齒現象 量測：格子樑、基座、XYZ三方向、基座共振頻率測試 診斷：設備基座共振 改善：強化基座 振動診斷與改善實例（一） 振動診斷與改善實例（一） 現象：某廠SEM影像發生鋸齒現象 量測：格子樑、基座、XYZ三方向、基座共振頻率測試 診斷：設備基座共振 改善：強化基座 振動診斷與改善實例（一） 振動診斷與改善實例（一） 振動診斷與改善實例（一） 振動診斷與改善實例（一） 振動診斷與改善實例（一） 現象：某廠SEM影像發生鋸齒現象 量測：格子樑、基座、XYZ三方向、基座共振頻率測試 診斷：設備基座共振 改善：強化基座 振動診斷與改善實例（二） 現象：某廠生產機台振動過大，不符振動標準，影響生產 量測： 生產設備基座及格子樑、XYZ三方向 1/3 Octave Band與Narrow Band 診斷： 振動值超過標準 附屬運轉設備振動過大 頂樓風車造成 改善： 清除風車扇葉結晶，動平衡校正 改良風車隔振 設備隔振 振動診斷與改善實例（二） 振動診斷與改善實例（二） 振動診斷與改善實例（二） 振動診斷與改善實例（二） 現象：某廠生產機台振動過大，不符振動標準，影響生產 量測： 生產設備基座及格子樑、XYZ三方向 1/3 Octave Band與Narrow Band 診斷： 振動值超過標準 附屬運轉設備振動過大 頂樓風車造成 改善： 清除風車扇葉結晶，動平衡校正 改良風車隔振 設備隔振 振動診斷與改善實例（二） 振動診斷與改善實例（二） 振動診斷與改善實例（二） 振動診斷與改善實例（二） 風車之預估隔振效率 STUT-ME STUT-ME * STUT-ME * STUT-ME Microvibration Control Area Vibration Criteria of Sensitive Equipment