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第三章　电容式传感器 §1 电容传感器的工作原理和结构 分类 三、电容式位移传感器的结构形式： 结构形式二 电容传感器分类比较 §4.4电容传感器的测量电路 §4-6 电容式集成传感器 运用集成电路工艺可以把电容敏感元件与测量电路制作在一起，构成电容式集成传感器，它的核心部件是一个对被测量敏感的集成电容器。 加速度集成电容传感器 这是一种基于多晶硅表面微加工技术的加速度电容传感器 。 压力集成电容传感器 这是采用硅腐蚀技术、硅和玻璃的静电键合以及常规集成电路工艺技术制造的集成电容传感器。 总结 §3.4 电容传感器应用 电容传感器由于检测头结构简单，可以不用有机材料和磁性 变换振荡器的等效电路为： 将被测电容 ， 作为各变换振荡器的回路电容，振荡器的其他参数为固定值，其等效电路上图所示。图中 为耦合和寄生电容．振荡频率f为： 则有： 式中： ——极板间的介质的相对介电常数； A——极板面积； ——极板间的距离； ——待测电