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- 2019-06-09 发布于浙江
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QG/ZDⅡ-T03-12-2003
中国电子系统工程第二建设公司
洁净厂房
高纯气体管道施工工艺标准
拟稿单位:总工程师办公室
编 制: 邓 顺 志
审 核: 王 开 源
批 准: 侯 忆
二OO三年一月二十五日
目 录
1、总则1
2、高纯气体的三个主要参数1
3、管道材料选择2
4、施工程序4
5、图纸会审5
6、工程测定5
7、绘制管段图5
8、设置预制洁净房6
9、材料检查确认6
10、保护气体的供给和管理9
11、管段预制11
12、现场配管施工13
13、压力试验19
14、系统吹扫20
15、系统测试21
附录1 露点、含湿量、绝对湿度换算表24
附录2 洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级26
附录3 EP/BA管自动氩弧焊接钨棒尺寸表27
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总则
本标准适用于洁净厂房高纯气体管道配管施工。
气体管道的干管,应敷设在上下技术夹层或技术夹道内,当与水、电管线共架时应设在其上部。
当采用碳素钢支吊架、碳素钢管卡时必须是镀锌件,且不锈钢管道与其接触处应采用不产尘的非金属材料隔离。
高纯气体管道的设计应符合下列要求:
a. 按气体流量、压力或生产工艺需要确定管径,气体管道最小管径不小于φ6×1mm;
b. 管道系统应尽量短;
c. 不应出现不易
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