第4部分传感器原理2-电容式.pptVIP

华中科技大学机械学院 测试技术与信号处理 二、电容式传感器 1.变换原理: 将被测量的变化转化为电容量变化， 实质上是一个具有可变参数的电容器。 两平行极板组成的电容器,它的电容量为: d、A 或 e 发生变化时，都会引起电容的变化。 第三章 常用传感器与敏感元件 ? A ? e — 极板间介质的相对介电系数， 在空气中为1。 式中， e 0 —真空介质介电系数，=8.85×10-12F/m d —极板间距离(m)；A —极板面积(m2)。 由此可得到传感器的灵敏度 (1)极距变化型 d d +dd 与极距平方成反比， d↓，S↑ 。 电容式传感器 如果电容器的面积和极间介质不变，极距 有一个微小变化量dd 时，引起电容的变化量dC 为 由于灵敏度随极距平方而反比变化，会引起非线性误差。为了减少此误差，通常规定在较小的间隙变化范围内工作，以便获得近似的线性关系。一般取极距变化范围约为Dd/d0 ≈0.1 。 在实际应用中，为了提高传感器的灵敏度、线性度以及克服某些外界条件 (如电源电压、环境温度等)的变化对测量精确度的影响，常常采用差动式。 优点:是可进行动态非接触式测量，对被测系统的影响小;灵敏度高，适用于较小位移 (0.01mm-数百微米)的测量。 缺点:有非线性特性、传感器的杂散电容也对灵敏度和测量精确度有影响，与传感器配合使用的电子线路也比较复杂，由于这些，其使用范围受到一定限制。 电容式传感器 应用实例 电容式传感器 驻极体电容传声器 它采用聚四氟乙烯材料作为振动膜片。这种材料经特殊电处理后，表面永久地驻有极化电荷，取代了电容传声器极板，故名为驻极体电容传声器。特点是体积小、性能优越、使用方便。 电容式传感器 (2)面积变化型 ① 角位移型 电容式传感器 当动极板有一转角时，与定极板之间相互覆盖面积发生变化，导致电容量变化。 覆盖面积 覆盖面积对应的中心角 常数 输出与输入成线性关系 灵敏度 ② 平面线位移型 电容式传感器 Dx x b 当动极板沿水平方向移动时，与定极板之间相互覆盖面积发生变化，导致电容量变化。 电容量 灵敏度 常数 输出与输入成线性关系 ③ 柱面线位移型 电容式传感器 当动极板(圆筒)沿垂直方向移动时，与定极板(圆筒)之间相互覆盖面积发生变化，导致电容量变化。 电容量 常数 输出与输入成线性关系 d D 灵敏度 面积变化型的优点是输出与输入成线性关系，但与极距变化型相比，灵敏度较低，适合于较大位移测量。 产品 陶瓷电容压力传感器 液体压力作用在陶瓷膜片的表面，使膜片产生 位移。 ?????????????????????????????? 压力变送器 电容式传感器 (3)介质变化型 电容式传感器 利用介质介电常数变化，将被测量转化为电容量变化。 电容量 以插入式为例 应用： 测量 厚度、 高度等 介质变化型电容传感器应用例 测量原理：当介质的厚度、高度、温度或湿度变化时，其介电常数发生变化，引起电容量的变化。 介质厚度、湿度、温度计 介质液位计 电容式传感器 归纳： 电容传感器特点及应用 特点：分辨力极高（电容值10-7 ，位移0.01μm ， 相对值100%~200%） 动极板质量小，惯性小，动态响应好； 非接触，结构简单，自身发热和功耗小； 不含有机材料或磁性材料、对环境适应性强。 应用：微信息检测——测微仪； 静态测量——金属零件计数 高频信号检测——振动，转速； 电容式传感器 产品 电容式液位传感器（液位计/料位计） 电容式传感器 产品：电容式接近开关 振荡 电路 被测物体 感应电极 被测 电容 电容式传感器 测量头构成电容器的一个极板，另一个极板是物体本身，当物体移向接近开关时，物体和接近开关的介电常数发生变化，使得和测量头相连的电路状态也随之发生变化。接近开关的检测物体，并不限于金属导体，也可以是绝缘的液体或粉状物体。 2. 测量电路 (1)电桥电路 电容式传感器测量电路 如右图所示 电容传感器作为桥路的一部分,由电容变化转换为电桥的电压输出,通常采用电阻、电容或电感、电容组成交流电桥。 差动式交流电桥 Dd 电容极距变化 →电容变化 →电桥输出电压变化 工作原理 电桥输出为调幅波，经放大、相敏检波、滤波后获得输出… ●平衡条件（U0 = 0） 对于一般的交流电桥： 如下图所示，Z表示阻感，