硅材料的分类与制备.pptVIP

第二章 IC制造材料;固体材料：超导体: 大于106(?cm)-1 导 体: 106~104(?cm)-1 半导体: 104~10-10(?cm)-1 绝缘体: 小于10-10(?cm)-1;;;2.2 硅材料的分类;2、按纯度分：;3、按结构分：;单晶硅锭及硅片;;?2.3 硅材料的制备 由于硅的纯度对芯片或太阳电池有很重大的影响，所以工业生产要求使用高纯硅，以满足器件质量的需求。在硅材料的提纯工艺流程中，一般说来，化学提纯在先， 物理提纯在后。原因是：一方面化学提纯可以从低纯度的原料开始，而物理提纯必须使用具有较高纯度的原料；另一方面是化学提纯难免引入化学试剂的污染，而物理提纯则没有这些污染。 概况　由硅石?粗硅?高纯多晶硅（纯度在99.9999999％以上）?单晶硅 ;1． 粗硅的制备 ??粗硅　又称工业硅或结晶硅（冶金级硅），纯度在95％?99％。这种硅是石英砂在电炉中用碳还原方法冶炼而成的。 ??反应要点：高温1600℃?1800℃ ??原因：SiO2(s)十2C(s)＝Si(s)十2CO(g) ??粗硅中杂质多，主要有Fe、Al、C、B、P、Cu 等，其中Fe 含量最多。可用酸洗法初步提纯，高纯硅还需进一步提纯。 ;2． 多晶硅的制备