现代材料分析方法第十二章电子显微镜.pptVIP

第十二章 扫描电子显微镜 第十二章 扫描电子显微镜 优点 电子束与固体样品相互作用 扫描电镜结构原理 主要性能指标 二次电子图象衬度原理及其应用 背散射电子图象衬度原理及其应用 其它信号图象 扫描电镜操作 样品制备 应用举例 扫描电镜的优点 ①分辨率比较高，二次电子象 ②放大倍数连续可调，几十倍到二十万倍 ③景深大，立体感强 ④试样制备简单 ⑤一机多用 第一节 电子束与固体样品相互作用 如图，当高能电子束轰击样品表面时，由于入射电子束与样品间的相互作用，99％以上的入射电子能量将转变成热能，其余约1％的入射电子能量，将从样品中激发出各种有用的信息，它们包括： 一、背散射电子 是指被固体样品原子反弹回来的一部分入射电子，它来自样品表层0.1~1?m深度范围，其能量近似于入射电子能量，背散射电子产额随原子序数的增加而增加，如图。利用背散射电子作为成象信号不仅能分析形貌特征，也可用来显示原子序数衬度，定性地进行成份分析。 二、二次电子 二次电子是被入射电子轰击出来的核外电子，它来自于样品表面100?左右(50~500?)区域，能量为0～50eV，二次电子产额随原子序数的变化不明显，主要决定于表面形貌，因此能非常有效地显示样品的表面形貌。 三、吸收电子 残存在样品中的入射电子。若在样品和地之间接入一个高灵敏度的电流表，就可以测得样品对地的信号，这个信号是由吸收电子提供的。（形貌、成分分析） 四、透射电子 当样品足够薄时(?0.1?m)，透过样品的入射电子即为透射电子，其能量近似于入射电子的能量。 五、特征X射线 样品中原子受入射电子激发后，在能级跃迁过程中直接释放的具有特征能量和波长的一种电磁波辐射，其发射深度为0.5~5?m范围。 六、俄歇电子 从距样品表面几个?深度范围内发射的并具有特征能量的二次电子，能量在50～1500eV之间。俄歇电子信号适用于表面化学成份分析。 七、阴极荧光 入射电子束轰击发光材料表面时，从样品中激发出来的可见光或红外光。 八、感应电动势 入射电子束照射半导体器件的PN结时，将产生由于电子束照射而引起的电动势.。 上述信息，可以采用不同的检测仪器，将其转变为放大的电信号，并在显象管荧光屏上或X－Y记录仪上显示出来，这就是扫描电镜的功能。 第二节  扫描电镜结构和原理 结构组成 成象原理 一、结构组成 扫描电子显微镜由 电子光学系统(镜筒)、 偏转系统、 信号检测放大系统、 图像显示和记录系统、 电源系统 和真空系统等部分组成 一、电子光学系统 由电子枪，电磁透镜，扫描线圈和样品室等部件组成。 作用：获得扫描电子束，作为使样品产生各种物理信号的激发源。 电子枪 3．偏转系统 作用：使电子束产生横向偏转，包括用于形成光栅状扫描的扫描系统，以及使样品上的电子束间断性消隐或截断的偏转系统。 偏转系统可以采用横向静电场，也可采用横向磁场。 4 样品室 样品室中最主要部件之一是样品台，它应该能够容纳大的试样（100mm），还要能进行三维空间的移动、倾斜（90－100度）和转动（360度），活动范围很大，又要精度高、振动小。样品台的运动可以用手动操作，也可用计算机控制，目前样品台在三维空间的移动精度已达到1微米。 二、信号收集及显示系统 检测样品在入射电子作用下产生的物理信号，然后经视频放大作为显像系统的调制信号。普遍使用的是电子检测器，它由闪烁体，光导管和光电倍增器所组成 三. 扫描电镜的工作原理 第三节 主要性能指标 分辨本领与景深 放大倍数及有效放大倍数 一、分辨本领与景深 扫描电镜的分辨本领有两重含义： 对于微区成份分析而言，它是指能分析的最小区域； 对于成象而言，它是指能分辨两点之间的最小距离。 两者主要取决于入射电子束的直径，但并不等于直径，因为入射电子束与试样相互作用会使入射电子束在试样内的有效激发范围大大超过入射束的直径，如图。入射电子激发试样内各种信号的发射范围不同，因此各种信号成象的分辨本领不同（如下表）。 表 各种信号成象的分辨本领 扫描电镜的景深是指在样品深度方向可能观察的程度。在电子显微镜和光学显微镜中，扫描电镜的景深最大，对金属材料的断口分析具有特殊的优势。 二、放大倍数及有效放大倍数 扫描电镜的放大倍数M取决于显象管荧光屏尺寸S2和入射束在试样表面扫描距离S1之比，即： M＝S2／S1 由于荧光屏尺寸S2是固定的，因此其放大倍数的变化是通过改变电子束在试样表面扫描距离S1来实现的。一般放大倍数在20～20万倍之间，且连续可调。 将样品细节放大到人眼刚能看清楚（约0.2mm）的放大倍数称为有效放大倍数M有效： M有效＝人眼分辨本领／仪器分辨本领 第四节 表