讲解压电式的传感器.ppt

2002/12总结 1880年：法国人居里兄弟发现石英晶体的压电效应 1820年，李普曼（Lippmann）教授提出了晶体具有压电效应的理论，不久，他的学生居里兄弟通过对电气石的实验，证实了压电效应的存在。 1881年，居里兄弟还通过实验验证了逆压电效应，并给出石英相同的正逆压电常数。所以，一般人都认为压电效应是皮埃尔·居里（Pierre Curie）和他的哥哥雅克斯·居里（Jacques Curie）发现的，其实这里面离不开他的老师李普曼教授的指导 法国的居里家族是当之无愧的获得诺贝尔奖最多的家族，先后出过4名诺贝尔奖得主。玛里·居里和丈夫皮埃尔·居里分享了1903年诺贝尔物理学奖。居里夫人成为诺贝尔奖百年历史上的首位女性获奖者，并于1911年再次获得诺贝尔化学奖。 居里夫妇的女儿伊雷娜·约里奥—居里显然继承了家族的优良传统，和丈夫弗雷德里奥·约里奥一起成为1935年诺贝尔化学奖得主。 居里家族是迄今为止唯一一个连续两代夫妻都获得诺贝尔奖的家族。 某些晶体（如SiO2单晶体结构）或多晶陶瓷（如钛酸钡，锆钛酸铅即PZT系列陶瓷） ①当沿着一定方向受到外力作用时，内部就产生极化现象，同时在某两个表面上产生符号相反的电荷，形成电场； ②当外力去掉后，又恢复到不带电状态； ③当作用力方向改变时，电荷的极性也随着改变； ④晶体受力所产生的电荷量与外力的大小成正比。 1、电压放大器 电压放大器的作用是将压电式传感器的高输出阻抗经放大器变换为低阻抗输出，并将微弱的电压信号进行适当放大．因此也把这种测量电路称为阻抗变换器。电压放大器的简化电路图为： 由于电压放大器使所配接的压电式传感器的电压灵敏度受电缆分布电容的影响，而且电缆的更换得引起重新标定的麻烦，为此又发展了便于远距离测量的电荷放大器，目前它巳被公认是一种较好的冲击测量放大器。 因此它可制作热电传感器件而用于红外探测器中。 但作压电器件应用时，这会给压电传感器造成热干扰，降低稳定性。 所以对高稳定性的传感器，压电陶瓷的应用受到一定限制。 6.1.3 压电式传感器 压电式传感器的基本原理就是利用压电材料的压电效应这个特性，即当有力作用在压电材料上时，传感器就有电荷（或电压）输出。 由于外力作用而在压电材料上产生的电荷只有在无泄漏的情况下才能保存，即需要测量回路具有无限大的输入阻抗，这实际上是不可能的， 因此压电式传感器不能用于静态测量。压电材料在交变力的作用下，电荷可以不断补充，以供给测量回路一定的电流，故适用于动态测量。 压电式传感器有电荷输出及电压输出两种输出方式。为了增大输出值，压电传感器往往用两个（较多见）或两个以上（制造装配困难）的晶体串接或并接： + + + + + + + + + + - - - - - - - - - - F F + + + + + - - - - - F F + + + + + - - - - - 串联 并联 蒸镀金属膜 下页 上页 返回 图库 串联 + + + + + + + + + + - - - - - - - - - - F F 串联 C1 C2 适合于以电压做为输出信号。 n 个晶体串接时，输出电荷量与单片晶体电荷相同，总电容为单片晶体电容的1/n，输出电压为单片晶体电压的n倍。串接时，输出电压大、电容小、时间常数小，适宜测量迅变信号和以电压输出的场合。 ? = R?C ? Ri?C 输出电荷量与单片晶体电荷相同 下页 上页 返回 图库 并联 适合于以电荷做为输出信号。 + + + + + - - - - - F F + + + + + - - - - - 并联 C1 C2 n个晶体并接时，输出电荷量为单片晶体电荷n 倍，总电容为单片晶体电容n 倍，输出电压等于单片晶体电压。并接时，输出电荷量大、电容大、时间常数大，适宜测量缓变信号和以电荷输出的场合。 输出电压量与单片晶体电荷相同 ? = R?C ? Ri?C 下页 上页 返回 图库 串联 串联 并联 并联 晶片间用导电胶粘结，端面用金属垫片引出导线。 并联 串联 下页 上页 返回 图库 每两片晶层中间夹垫金属片作电极，引出导线。 压电式传感器中的压电元件，按其受力和变形方式不同， 大致有厚度变形、长度变形、体积变形和厚度剪切变形等几种形式，如图6-6所示。目前最常使用的是厚度变形的压缩式和剪切变形的剪切式两种。 图6-6 压电元件变形方式 厚度变形( TE ); (b) 长度变形( LE )