分包八管道窑1套.doc

附件 分包一AFM/MFM扫描/扫面探针显微系统 1套 招标参数 一．扫描探针显微镜基本配置 含扫描隧道、原子力、横向力、接触模式、轻敲模式、相移成像模式、环境检测 包括：1、CSPM5500型探头 2、CSPM5500型主控机箱 3、计算机系统 DELL，奔腾D双核处理器，160 GB HD，1G 内存，16X DVD-ROM ，19 液晶显示器△ 4、控制软件和后处理软件（for Windows XP/Vista版） 5、1.5um×1.5um扫描器和15um×15um扫描器 6、STM探针架 7、AFM/LFM探针架 8、原子力微悬臂探针20枚（接触和轻敲各10枚） 9、扫描隧道显微镜探针用φ0.25铂铱丝50cm 10、样品台10枚 磁性/非磁性样品台各10枚，直径：12.5mm；厚度：1.5mm 11、内置环境温度、湿度实时检测系统 12、两级可读数样品调节机构 13、悬挂隔振系统 14、专用便携式工具箱（包括工具组） 15、CSPM系列用户手册 二．扫面探针显微镜功能模块 1.磁力显微镜（MFM） 包括:磁力显微镜硬件模块、抬起模式、磁性探针10枚 2.加热台系统 台面直径30mm,加热功率0～6W,加热温度：室温～250℃,控制精度 3.纳米加工模块 包括:图形化刻蚀模式、压痕/机械刻画、矢量扫描模式 4.导电原子力显微镜（CAFM）模块 包括：导电原子力显微镜硬件模块 5.压电力显微镜（PFM）模块 包括：锁相放大器、内建纯正弦信号发生器、PFM探针10枚 6.精密隔振平台（包含无油静音气泵） 规格：900（宽）×600（长）×800（高） / 四支撑气垫，M6螺孔阵距25，限载250公斤 7.数字化光学显微镜系统,放大倍数：89-623连续可调（14”有效显示面积），工作距离100mm 包括：光学显微镜、数码彩色摄像机（USB 2.0接口） 8.大范围样品扫描器100um X 100um 三、安装调试及培训 卖方工程师到用户现场对仪器进行免费安装、调试。卖方事先向使用单位提供安装有关要求，并应从接到用户通知之日起10个 工作日内（节假日除外）由卖方工程师到达现场并完成安装、调试，直到该仪器的技术指标完全符合合同要求为止。卖方工程师在用户现场对用户进行免费培训，直至用户独立操作为止。 四、售后服务 该货物的保修期为自验收合格之日起12个月，或发货之日起15个月，先到为准，保修期内的维修免费，即仪器验收合格后，整机提供 1年免费服务，对于保修期之后的原件的更换，只收取硬件成本费用及人工成本费。卖方保证在接到用户的报修通知的4个小时内做出反应，并采取适当的行动。 分包二 一、匀胶机（进口） 1台 技术参数 支持衬底尺寸：Φ4” ~ Φ8” 2、最快转速： 3、转速设定精度：1rpm 4、最快加速度：4000rpm/s 5、转速精度：+/- 1rpm 6、滴胶系统：针筒式自动滴胶 7、可承受最大光刻胶粘度：5000cp 8、厚度均匀性：2% (光刻胶 AZ5214E, 1μm, 8寸圆片) 9、工艺配方管理：可编辑工艺配方，每个工艺配方含有40步，机器可以存储工艺配方200个。 10、可编程时间设置范围：1-999秒 11、氮气环境 12、ERB 去除厚胶边：包含去除厚胶边功能 13、废液收集：含一个不小于0.5L的废液桶 真空泵：包含（压缩空气0-6bar,最低真空-0.7 bar） 二、烘胶机（进口） 1台 技术参数 支持衬底尺寸：Φ2” ~ Φ8” 2、热板范围：60 - 250 3、热板精度：0.5° 5、微处理器程控温度 6、可编程加工时间设置范围：1-999秒 7. 烤胶方式：圆片和热板不直接接触 8. 烘烤环境：氮气环境 可对2”–8” 不锈钢安全盖 真空计 安装调试及培训 卖方工程师到用户现场对烘胶机进行免费安装、调试。卖方事先向使用单位提供安装有关要求，并应从接到用户通知之日起10个工作日内（节假日除外）由卖方工程师到达现场并完成安装、调试，直到该仪器的技术指标完全符合合同要求为止。卖方工程师在用户现场对用户进行免费培训，直至用户独立操作为止。 售后服务 该货物的保修期为自验收合格之日起12个月，保修期内的维修免费，即仪器验收合格后，整机提供 1年免费服务，对于保修期之后的原件的更换，只收取硬件成本费用及人工成本费。卖方保证在接到用户的报修通知的4个小时内做出反应，并采取适当的行动。 分包三 激光粒度分布仪 1台 功能要求： 智能型激光粒度仪，可对以下材料进行测定：（1）各种非金属粉：如重钙、轻钙、滑石粉、高岭土