基于ZEMAX的F-theta透镜设计与优化.pdfVIP

中国科技论文在线 # 基于 ZEMAX 的F-theta 透镜设计与优化 喻超，赵同刚* （北京邮电大学电子工程学院，北京 100876 ） 摘要： 目前国内用于激光扫描的 F-theta 镜头的工作面积一般直径不超过 420 mm。国外虽 然有面积较大的F-theta 透镜，但结构复杂。通过初级像差分析，确定了镜头的初始结构参 量，利用光学设计软件优化得到了由3片两种普通玻璃球面透镜构成的 F-theta透镜。它具 有结构简单紧凑，聚焦性能接近衍射极限，线性畸变小的优点。 关键词：光学工程；F-theta 透镜；激光打标 中图分类号：O439 Based on ZEMAX to design and optimaze the F-theta lens Yu Chao, Zhao Tonggang (Beijing University of Posts and Telecommunication, Beijing 100876) Abstract: In this papeThe working area of F-theta lens is generally not larger than 420 mm in diameter interiorly when used in laser scanning system. F-theta lenses with larger working areas overseas are of complicated structure. The F-theta lens is compact and composed of only three spherical lenses made up of two kinds of common optical glasses obtained by determining the parameters of initial structure through analysis of the primary aberration and optimizing the initial structure with optical design software. Its focusing performance is diffraction-limited and its distortion relative to the F-Theta linear relation is small.. Key words: optical engineering; F-theta lens;laser marking 0 引言 望远物镜的像高与视场角的正切成正比，而F-theta 镜头的像高与视场角成正比，常用 于线性扫描系统，如激光标刻机，激光束经F-theta 镜头聚焦，像高y 与光束的入射角θ成 正比[1,2] 。这种标刻系统广泛用于制作激光防伪标记、刻字和表面装饰、光学精细加工、大 型水晶工艺品的内部雕刻等。具有无污染、分辨率高、非接触、标记永久保持、无非线性误 [3] 差和塔形误差等优点 。 本文描述了大工作面F-Theta 镜头的光学设计思想，从初级像差理论出发，确定初始结 构，然后利用ZEMAX 软件优化设计，优化后的F-Theta 镜头结构简单紧凑、聚焦性能好、 线性畸变小，满足了目前大工作面打标的使用要求。 1 设计思想 用于激光打标机的F-Theta 镜头，工作于单波长，工作面通常为平面，等效光阑位于X 扫描振镜处(如图1 所示) ，光阑口径等于激光束直径。它属于大视场、小相对孔径光学系统。 为获得良好的标刻效果，