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    修 平 科 技 大 學     電 子 工 程 系  DEPARTMENT OF ELECTRONIC ENGINEERING   HSIUPING UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY   實務專題報告書 銅鋁氧塊材製作                      專題老師: 施能夫教授 專題製作學生:電子四乙BQ99055 王俊文 電子四乙BQ99064 呂宗憲 電子四乙BQ99071 蕭佳峻 電子四乙BQ99108 黃書強 摘要 銅鋁氧具有許多優秀之特性，如良好的導電性、導熱性與抗電弧 沖蝕等特性，故其應用的領域廣泛，一般的靶材基本上都是用熔煉的 方式製作，不過這種製作方法容易發生缺陷，如成分比例出錯、結構 不均勻和孔洞的分佈不均勻。 由於銅鋁氧 P 型靶材其電阻率高於 N 型靶材 3 至 4 倍，使得 無法製作良好的 PN 接面。所以我們採用另外的一種做法，就是粉末 冶金(Powder metallurgy )真空燒結 (Vacuum Sintering)。由這實驗 研究哪種做法的成功良率較高。 研究主要嘗試利用粉末冶金方法來製作銅鋁氧 P型靶材，並探 討熱均壓參數的改變對靶材之緻密度與微觀組織的影響，進而找到最 適合之製程參數來製備高緻密度之銅鋁氧 P 型靶材。 2    目錄 第一章 緒論7 1-1 前言 7 1-2 研究動機8 第二章 實驗設備 9 2-1 設備介紹及原理9 2-2 測量設備14 2-3 實驗器具17 第三章 實驗步驟 3-1 實驗流程圖18 3-2 實驗步驟19 3-3 實驗數據20 第四章 實驗結果37 作者簡介 38 參考文獻42 3    圖目錄: 圖(一)電子天秤 9 圖(二)奈米研磨機(含球磨內器具)10 圖(三)研磨缽 11 圖(四)壓模機及壓模具... 12 圖(五)高溫爐 13 圖(六) X 光繞射儀14 圖(七)四點探針 15 圖(八) 800 度膜厚 1mm 電阻係數曲線圖21 圖(九) 800 度膜厚 1mm 電阻係數曲線圖21 圖(十) 800 度膜厚 1.2mm 電阻係數曲 線圖22 圖(十一) 800 度膜厚 1.2mm 電阻係數曲線圖22 圖(十二) 850 度膜厚 1mm 電阻係數曲 線圖23 圖(十三) 850 度膜厚 1.2mm 電阻係數曲線圖23 圖(十四) 850 度膜厚 1.2mm 電阻係數曲線圖24 圖(十五) 900 度膜厚 1.2mm 電阻係數曲線圖24 圖(十六) 900 度膜厚 1.2mm 電阻係數曲線圖25 圖(十七) 800 膜厚 1mm 度成分圖 CuO26 圖(十八) 800 膜厚 1mm 度成分圖 Al2O3 27 4    圖(十九) 800 膜厚 1mm 度成分圖 Al 2CuO427 圖(二十) 800 膜厚 1mm 度成分圖 CuAlO 228 圖(二十一) 800 膜厚 1.2mm 度成分圖 Al 2CuO428 圖(二十二) 800 膜厚 1.2mm 度成分圖 Al 2O3 29 圖(二十三) 800 膜厚 1.2mm 度成分圖 CuO29 圖(二十四) 800 膜厚 1.2mm 度成分圖 CuAlO 230 圖(二十五) 850 膜厚