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第 31 卷 ,第 5 期 微 电 子 技 术 总第 153 期
Vol. 31 ,No. 5 MICROEL ECTRONIC TECHNOLOGY 2003 年 10 月
综 述
估算晶圆有效芯片数的椭圆公式
石林初
(无锡华润微电子有限公司 ,无锡 ,214061)
摘 要 : IC 生产线开发新品和核算成本时 ,需要估算晶圆上有效芯片数。靠经验公式估算通常
有较大误差。作者曾提出一个精确的计算晶圆上有效芯片数的椭圆公式[1 ] ,适合于大规格晶圆和
高成品率的生产线上应用。本文给出了椭圆公式的推导过程。
关键词 : 有效芯片数 ; 核算成本 ; 椭圆公式
( )
中图分类号: TN302 文献标识码 :A 文章编号 :1008 - 0147 2003 05 - 05 - 04
An Ellipse Formula to Estimate Effective Number of Chips on a Wafer
SHI Lin - chu
( )
W uxi China Resources M icroelect ronics Co. L t d . , W uxi Jian gsu , 214061 , China
Abstract : It ’s necessary to estimate the effective number of chips on a wafer when developing new
products of IC and considering their cost . It ’s done by experienced formula that causes errors to the
result . The author suggested a precise formula to replace the experienced one [1 ] , called “ellipse formu
la ”, especially suitable for the product lines with large size wafers and high yields. The ellipse formula
is deduced in detail in ths paper.
Keywords : Effective number of chips ; Estimation of cost ; Ellipse formula
近似法”。显然 ,实际损耗率是与 c 和 b 有关的。当
1 引言 半径固定 ,芯片的 c 和 b 愈大 ,晶圆边缘上的损耗率
也愈大 ,甚至可能超过 10 % 。反之亦然。所以 , 实
设晶圆半径为 R , 芯片 X 和 Y 方向的划片/ 步 践中常按照芯片面积的不同范围 ,定出不同的损耗
进距离
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