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半导体厂洁净室之节能措施 壹、? ? ? ? 前 言贰、? ? ? ? 国内半导体厂洁净室耗能之现况参、? ? ? ? 节约能源技术肆、? ? ? ? 结 论伍、? ? ? ? 参考文献 ■ 台北科技大学冷冻空调研究所/萧复文、胡石政、蔡炳煌 ■ 洁净室耗能为一般空调系统之5~10倍，在国内自产能源匮乏且面临能源消耗日益严重的情况下，如何提升无尘室空调系统的节能技术，以提升生产力与竞争力，是我们必须面对的课题。 近年来，尖端科技产业快速发展，使得晶圆制造或光电技术层级从微米、次微米到奈米，这些产业的制程作业环境，若非于无尘室中进行，其产品即无法达于精密尺度要求。目前半导体产业的集积度提高，晶圆直径大型化，而洁净室耗能又为一般空调系统之5~10倍，因此能源消耗日益严重。为了维护地球环境生态与永续发展，我们应善尽人类能源与资源之利用，努力提升无尘室空调系统节能技术，以增加生产力、竞争力并灭少能源使用量。以下针对国内半导体厂洁净室耗能之现况以及节约能源技术作探讨。【参考文献1～6】 ??一般电子厂用电总设备容量约为数万马力，契约容量亦为数千乃至数万瓦，全年电费总额更高达数亿元以上，可见半导体厂的耗能相当惊人。为配合==之节能措施，并确切了解国内半导体厂之实际耗能状况，特别针对国内厂家进行研究分析。一般半导体厂耗能流程示意图如图1。  图1. 一般半导体