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FEMAG软件在单晶硅提拉生长工艺模拟中的应用综述 沈鑫1,梁琳“ 匚屮仿科技公司，漕河泾开发区松江高科技园，上海，201612 *通讯作者，邮箱： info@；电话：+86-21摘要：单晶硅一肓是半导体行业中非常重要的晶体材料，具有非常可观的市场应用前景。论 文分析了在半导体行业中单品硅牛?长的应用和研究现状，并综述了 FEMAG数值模拟软件在 单品硅生长仿真中的应用，总结得出结论，利用专业化的品体生长数值模拟软件FEMAG, 可以全面地分析晶体生K工艺，在实际应用中能显著提高研发效率、降低产品开发周期，同 时也可为提高晶体质量、控制晶体生长缺陷提供切实可行的解决方案。 关键词：半导体；单晶硅；晶体生长；提拉法；FEMAG；数值模拟 Application on simulation technology of mono-crystal silicongrowth using the FEMAG Xin Shen1, Lin Liang1* 1 CnTcch Co.,Ltd, Songjiang High-Tech Park, Caohejing Development Zone, Shanghai,China, 201612 * Corresponding author, E-mail: info@; Tel: +86-21A