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- 2019-07-05 发布于天津
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第卷第期无机材料学报年月文章编号一一一多晶硅薄膜的表面处理工艺曾祥斌徐重阳饶瑞中科技大电子科与技术汉香港科大电与电子工华学学系武技学气程系摘要采用和的等离子体分别对一多晶硅薄膜表面进行了钝化处理处理一比后后的薄膜晶体管具有未处理更优越的性能通电试验与热应力试验处理器呈现和机和后的出更好的承负应能力钝的微观理是子件受电荷热力化等离体一中和了薄膜的悬挂键形成牢固的一键减少了表面态密度关键词表面钝化一中图分类号文献标识码引言多晶硅薄膜晶体管是目前有源矩阵液晶显示器中的研究热点主要是因为一具有系统集成一
第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 ,
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