GB/T 10067.410-2014电热装置基本技术条件　第410部分：单晶炉.pdf

ICS 25.180.10 中华人民共和 国 国彖标准 GB/T 10067.410—2014 电热装置基本技术条件 第410部分：单晶炉 Basic specifications for electroheat installations — Part 410 ： Single crystal growing furnace 2014-12-05 发布 2015-04-16 实 GB/T 10067.410—2014 ■ i r ■ ■ i 刖 吕 GB/T 10067«电热装置基本技术条件》现有19个部分： ——第1部分:通用部分； ——第2部分：电弧加热装置； ——第3部分:感应电热装置； ——第31部分：中频无心感应炉； ——第32部分：电压型变频多台中频无心感应炉成套装置； ——第33部分:工频无心感应熔铜炉； ——第4部分:间接电阻炉； ——第41部分：网带式电阻加热机组； ——第42部分:推送式电阻加热机组； ——第43部分:强迫对流井式电阻炉； ——第44部分:箱式电阻炉； ——第45部分:真空淬火炉； ——第46部分:罩式电阻炉； ——第47部分:真空热处理和钎焊炉； ——第48部分：台车式电阻炉； ——第49部分 ：自然对流井式电阻炉； ——第410部分:单晶炉； ——第411部分：电热浴炉； ——第5部分:高频介质加热设备。 根据需要还将陆续制定其他部分。 本部分为GB/T 10067的第410部分，应与GB/T 10067的第1部分和第4部分配合使用。 本部分按照GB/T 1.1—2009给出的规则起草。 本部分由中国电器工业协会提出。 本部分由全国丁业电热设备标准化技术委员会(SAC/TC 121)归口。 本部分起草单位：西安电炉研究所有限公司 、江苏华盛天龙光电设备股份有限公司、西安理T晶科 股份有限公司、中冶电炉工程技术中心、国家电炉质量监督检验中心、陕西省电炉工程技术研究中心。 本部分主要起草人：陈巨才、李留臣、袁芳兰、束天和、朱琳。 T GB/T 10067.410—2014 电热装置基本技术条件 第410部分：单晶炉 1范围 GB/T 10067的本部分规定了对TDR晶体炉的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以 及标志、包装、运输和贮存。 本部分适用于直拉法拉制半导体硅 、错等单晶的单晶炉。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件 。凡是不注日期的引用文件 ，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB 150—2011钢制压力容器 GB/T 2900.23—2008 电工术语工业电热装置 GB 3095—2012环境空气质量标准 GB 8702— 1998电磁辐射防护规定 GB 8978— 1996污水综合排放标准 GB/T 10066.1—2004电热设备的试验方法 第1部分:通用部分 GB/T 10066.4—2004 电热设备的试验方法 第4部分：间接电阳炉 GB/T 10067.1—2005电热装置