多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定气相色谱法.doc

ICS FORMTEXT 77.040 FORMTEXT H17 FORMTEXT FORMTEXT YS 中华人民共和国 FORMTEXT 有色金属行业标准 FORMTEXT YS/T FORMTEXT XXX— FORMTEXT XXXX FORMTEXT FORMTEXT 多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定 气相色谱法 FORMTEXT Determination of silane content in tail gas of polycrystalline silicon production ——Gas chromatographic method FORMTEXT （讨论稿） 本稿完成日期：2016年08月 FORMTEXT XXXX - FORMTEXT XX - FORMTEXT XX发布 FORMTEXT XXXX - FORMTEXT XX - FORMTEXT XX实施 FORMTEXT 中华人民共和国工业和信息化部发布 YS/T XXX—XXXX PAGE I 前言 本标准按GB/T 1.1-2009给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC 243）归口。 本标准负责起草单位：内蒙古神舟硅业有限责任公司。 本标准参加起草单位： 本标准主要起草人： 多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定 气相