4Cr13不锈钢游标卡尺上多弧离子镀沉积TiN薄膜的分析.pdfVIP

4Cr13 不锈钢游标卡尺上多弧离子镀沉积TiN 薄膜的研究 度、结合力及耐磨性等性能会有所提高，当弧电流过大时，薄膜表面过多的液滴会导 致其性能出现下降。 (5) 偏压的引入可以有效减少TiN 薄膜表面的液滴，适当的偏压可以提高薄膜的 硬度、结合力、耐磨性等性能，偏压过大时，严重的反溅射使得薄膜厚度减小、内应 力增大，薄膜的性能也严重下降。 (6) 结合TiN 薄膜表面质量以及薄膜硬度、结合力和耐磨性等性能得出4Cr13 基 体多弧离子镀沉积TiN 薄膜的最佳工艺参数：当沉积温度为250 ℃，氩氮流量比为 1:8，腔室内总压强为0.85 pa ，弧电流为105 A ，偏压为300 V ，沉积时间为60 min 时，TiN 薄膜的表面质量和性能达到最佳。 (7) TiN 薄膜高温下的耐磨性较差，这主要和薄膜的氧化有关，当温度在400 ℃ 时，TiN 薄膜表面出现氧化痕迹，剥落现象不明显，当温度为500 ℃时，薄膜被氧化 成金红石TiO ，表面出现氧化剥落现象，此时薄膜的耐磨性严重下降。 2 2. TiN 薄膜在游标卡尺上的应用 将前期的最佳工艺参数运用到TiN 薄膜游标卡尺后期的生产试验中，其中小批量 15 生产试验选取 把游标卡尺，实验结果表明：工装卡具可行，最佳工艺参数下生产 的TiN 薄膜颜色、硬度、结合力均表现良好，满足游标卡尺的使用性能，有效生产周 期为120 min ；中批量生产试验中游标卡尺增加至40 把，结果表明，工艺重复性良好， 理论上基本满足生产上的要求。 关键词：多弧离子镀；TiN 薄膜；游标卡尺；表面质量；结合力；生产实验 II Abstract Abstract In recent years, the global electronic digital display measuring tool demand can grow quickly. According to the world of a few large companies investment plan and the development trend of digital display measuring tool, the worlds output of the measuring in 2013 reached around the 150 thousands sets, and the market gap of the measuring is still large, so the measuring tool industry development prospects. China as the second largest measuring tool production of the world, the large-scale production and development ability of the industrial system have been created. But compared with foreign measuring tool industry, the technical level domestic is relatively backward and competitiveness is weak.Therefore, measuring domestic enterprises urgently need to pay attention to the technique and technology transform and improve traditional product quality at the same time, they should strive to develop