电子与信息工程学院控制科学与工程系22压阻式传感器.ppt

半桥和全桥 假设?R1=?R2=?R3=?R4 根据参与工作的桥臂数 半桥 半桥单臂 半桥双臂 全桥 复习巩固 什么是金属丝的应变效应？ 什么是金属应变片的灵敏度系数？它与金属丝灵敏度函数有何不同？ 根据下式，用自己的话描述桥臂极性的计算的结论 应变效应的应用十分广泛。它可以测量应变应力、弯矩、扭矩、加速度、位移等物理量。电阻应变片的应用可分为两大类： 第一类是将应变片粘贴于某些弹性体上，并将其接到测量转换电路，这样就构成测量各种物理量的专用应变式传感器。应变式传感器中，敏感元件一般为各种弹性体，传感元件就是应变片，测量转换电路一般为桥路； 第二类是将应变片贴于被测试件上，然后将其接到应变仪上就可直接从应变仪上读取被测试件的应变量。 四、应变式传感器 柱力式传感器 圆柱式力传感器的弹性元件分为实心和空心两种。 柱式力传感器 -ε2 +ε1 截面积S F F F 面积S -ε1 +ε2 b） a） 在轴向布置一个或几个应变片，在圆周方向布置同样数目的应变片，后者取符号相反的横向应变，从而构成了差动对。由于应变片沿圆周方向分布，所以非轴向载荷分量被补偿，在与轴线任意夹角的α方向，其应变为 ： ε1——沿轴向的应变；μ——弹性元件的泊松比。 当α=0时 当α=90?时 E：弹性元件的杨氏模量 各种悬臂梁 F F 固定点 固定点 电缆 各种悬臂梁 应变片在悬臂梁上的粘贴及变形 应变式荷重传感器的外形及应变片的粘贴位置 F R 1 R 2 R 4 荷重传感器原理演示 荷重传感器上的应变片在重力作用下产生变形。轴向变短，径向变长。 电子秤 磅秤 超市打印秤 远距离 显示 人体秤 应变式数显扭矩扳手 可用于汽车、摩托车、飞机、内燃机、机械制造和家用电器等领域，准确控制紧固螺纹的装配扭矩。量程2～500N.m，耗电量≤10mA，有公制/英制单位转换、峰值保持、自动断电等功能。 材料应变的测量 斜拉桥上的斜拉绳应变测试 案例：机器人握力测量 讨论，设计一个地音入侵探测器 适合于金库、仓库、古建筑的防范，挖墙、打洞、爆破等破坏行为均可及时发现。 应变式加速度传感器 在低频（10～60Hz）振动测量中得到广泛的应用，但不适用于频率较高的振动和冲击。 应变式加速度传感器结构示意图 1—等强度梁 2—质量块 3—壳体 4—电阻应变片 §2.2 压阻式传感器 （一）?? 压阻效应 单晶硅材料在受到应力作用后，其电阻率发生明显变化，这种现象被称为压阻效应。 对半导体材料 对金属材料 电阻相对变化量 由于πE一般都比（1+2μ）大几十倍甚至上百倍，因此引起半导体材料电阻相对变化的主要原因是压阻效应，所以上式可近似写成 式中 π——压阻系数；E——弹性模量； σ——应力； ε——应变。 上式表明压阻传感器的工作原理是基于压阻效应。 扩散硅压阻式传感器的基片是半导体单晶硅。单晶硅是各向异性材料，取向不同其特性不一样。而取向是用晶向表示的，所谓晶向就是晶面的法线方向。 优点：灵敏度高，比金属丝式高50~80倍、尺寸小，横向效应小，动态响应好、精度高、易于微型化和集成化等。 缺点：温度系数大，应变时非线性比较严重，稳定性和可重复性不如金属应变片。 （二）?? 固态压阻器件 1、固态压阻器件的结构原理 利用固体扩散技术，将P型杂质扩散到一片N型硅底层上，形成一层极薄的导电P型层，装上引线接点后，即形成扩散型半导体应变片。若在圆形硅膜片上扩散出四个P型电阻，构成惠斯登电桥的四个臂，这样的敏感器件通常称为固态压阻器件，如图所示。  １ ２ ３ ４ ５ ７ ６ 1 N-Si膜片 2 P-Si导电层 粘贴剂 硅底座 引压管 Si 保护膜 7 引线? 当硅单晶在任意晶向受到纵向和横向应力作用时，如图 (a)所示，其阻值的相对变化为 式中 σl——纵向应力； σt——横向应力； πl——纵向压阻系数；πt——横向压阻系数。 （a） [001] [100] [010] πlσl πtσt R （b） πtσr πlσr πtσt πlσt 图 力敏电阻受力情况示意图 Rr Rt 在硅膜片上，根