洁净车间环境监测培训讲义.ppt

主讲人：王晓曦 洁净车间环境监测 Small pure and fresh and beautiful report template 洁净室环境控制要点 洁净车间环境监测分类及参数标准 车间环境监测方法 纯化水的检验方法及结果标准 ontents 一、洁净室环境控制要点 温湿度、压差风速、尘埃粒子、沉降菌、浮游菌 二、洁净车间环境监测分类及监测结果标准 十万级洁净室参数标准 序号 项目 控制要求 1 温度 18℃-28℃ 2 相对湿度 45-65% 3 压差 洁净室（区）相对于室外大气的静压差应≥10pa  空气洁净级别不同的洁净室（区）之间的静压差应≥5帕  人流和物流通道应是从外向内压差逐步增加 4 尘埃粒子 ≥0.5um   ≥5um 3，500，000个/m3  20，000个/m3 5 沉降菌/皿 10 6 浮游菌／m3 500 7 换气次数/h ≥15 三、车间环境监测方法 项目 内容 温湿度 标准规定 温度为18～28℃、相对湿度为45%～65% 监测时间 净化空调系统正常运行于30min以后开始 监测工具 指针式温湿度计，温度精度为1℃，湿度精度为1% 监测人员 洁净室生产操作员 监测位置 洁净室各区域 监测频次 2次/天 （一）、温度、湿度 通过洁净区各房间放置的温湿度表读数 在洁净区厂房温度或相对湿度监测中，发现结果超出范围时，应及时查明原因，进行必要的调整。 《洁净区车间温湿度控制规程》（NOV-SJ-ZJ-Ⅲ-013） （二）、压差 压差 监测位置 空气洁净级别不同的相邻房间 洁净区（室）内外 监测标准 ≥5pa ≥10pa 监测时间 净化空调系统正常运行于30min以后开始 监测工具 微压表 监测人员 洁净室生产操作员 监测频次 2次/天 监测状态 动态测试 通过洁净区房间墙壁上的压差表读数 注意：洁净区所有的门应关闭，测试时不允许有人穿越房间，微压表示数稳定后再读数。测试过程必须在达到平衡状态后进行。 当洁净室压差不足时，应及时报告，立即调查原因，按照《空气净化系统使用标准操作规程》（NOV-SJ-ZJ-Ⅲ-014）进行必要的调整，应检查洁净室密闭性或更换初、中效过滤器或适当加大新风阀开度，以提高总送风量和新风量，保证洁净区（室）压差合格。 （三）、尘埃粒子 1 定义 尘埃粒子，一般指悬浮于空气中的固态和液态微粒。 监测要点 标准规定 具体内容 监测时间 净化空调系统正常运行时间不少于30min后开始 监测工具 尘埃粒子计数器 监测人员 质检部操作员 监测方法、监测位置 具体查看《尘埃粒子测定标准操作规程》 监测频次 正常生产过程中，生产洁净室（区）尘埃粒子的测定每季度一次，停产时半年测定一次。 监测状态 静态测试（or动态） 洁净度控制标准 不同洁净级别生产区域的控制标准 动态测试时以低一级洁净度级别的静态标准为参考。 洁净度级别 静态尘粒最大允许数/立方米 ≥0.5μm ≥5μm 100级 3,500 0 10,000级 350,000 2,000 100,000级 3,500,000 20,000 300,000级 10,500,000 60,000 2、仪器 ：尘埃粒子计数器。 3、测试规则 3.1 测试条件 （1） 温度和湿度 洁净室（区）的温度和湿度应与其生产及工艺要求相适应（温度控制在18℃-28℃，相对湿度控制在45%-65%之间）。 （2）压差 空气洁净度不同的洁净室（区）之间的压差应5Pa，空气洁净度级别要求高的洁净室（区）对相邻的空气洁净度级别低的洁净室（区）一般要求呈相对正压。 3.2 测试状态： 静态或动态均可进行测试。 静态测试时室内测试人员不得多于2人。 测试报告中应标明测试状态及室内测试人数。 3.3 测试时间 1）静态a测试时，对非单向流洁净室，测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于30min后开始。在静态b测试时，对非单向流洁净室，测试宜在生产操作人员撤离现场并经过20min自净后开始。 2）在动态测试时，须记录生产开始的时间及测试时间。 注：静态a：洁净室（区）在净化空气调节系统已安装完毕且功能完备的情况下，生产工艺设备已安装、洁净室（区）内没有生产人员的状态。 静态b：洁净室（区）在生产操作全部结束，生产操作人员撤离现场并经过20min自净后。 动态：洁净室（区）已处于正常生产状态，设备在指定的方式下进行，并且有指定的人员按照规范操作。 6、测试步骤 1）仪器开机接通电源，预热至稳定后将采样管接入仪器自净口，仪器开始自净至尘埃粒子数为零。 2）采样点一般在离地面0.8m高度的水平面上均匀布置（《尘埃粒子测定标准操作规程》（NOV-SJ-ZJ-Ⅲ-028）附录A）。按附录B确定洁净室（区）采样点数目后进行采样。 3）采样管口置采样点采样时，在确认技术稳定后