第六章 晶体薄膜衍衬成像分析.pptxVIP

第十一章 晶体薄膜衍衬成像分析;§11-2薄膜样品制备;工艺过程;§11-3 衍射衬度形成机理 明场像与暗场像; 明场像; 晶面反射并受到物镜光栏挡住，因此，在荧光屏上就成为暗区，而OA晶粒则为亮区，从而形成明暗反差。由于这种衬度是由于存在布拉格衍射造成的，因此，称为衍射衬度。 设入射电子强度为IO，(hkl)衍射强度为Ihkl，则A晶粒的强度为IA= I0- Ihkl，B晶粒的为IB= I0，其反差为IA/ IB= (I0- Ihkl)/ I0。 明场像——上述采用物镜光栏将衍射束挡掉，只让透射束通过而得到图象衬度的方法称为明场成像，所得的图象称为明场像。 ; 暗场像——用物镜光栏挡住透射束及其余衍射束，而只让一束强衍射束通过光栏参与成像的方法，称为暗场成像，所得图象为暗场像。 暗场成像有两种方法：偏心暗场像与中心暗场像。 必须指出： ① 只有晶体试样形成的衍衬像才存明场像与暗场像之分，其亮度是明暗反转的，即在明场下是亮线，在暗场下则为暗线，其条件是，此暗线确实是所造用的操作反射斑引起的。 ;a:明场像, b:暗场像，c：电子衍射像;§11-4 消光距离;;§11-5 衍衬象运动理论的基本假设 ;1.采用双束近似处理方法，即所谓的“双光束条件” 2 假设相邻两入射束之间没有相互作用，每一入射束范围可以看作在一个圆柱体内，只考虑沿柱体轴向上的衍射强度的变化 ;计算每个柱体下表面的衍射强度，汇合一起就组成一幅由各柱体衍射强度组成的衍衬象，这样处理问题的方法，称为柱体近似。 ;衍射强度;;; 将I g 随晶体厚度t的变化画成如右图所示。 显然，当S =常数时，随着样品厚度t的变化衍射强度将发生周期性的振荡。 振荡的深度周期：t g = 1/s 这就是说，当t=n/s (n为整数）时， I g =0。 当t=(n+1/2)/s时， I g = I g max=1/(s ζg )2 I g 随t的周期性振荡这一运动学结果。定性地解释了晶体样品的锲形边缘处出现的厚度消光条纹。 ; 2. 等倾消光条纹;;;第五节 不完整晶体衍衬象运动学解释;体缺陷（偏析，二相粒子，空洞等）。 3. 相转变引起的晶体不完整性：①成分不变组织不变（spinodals）；②组织改变成分不变（马氏体相变）；③相界面（共格、半共格、非共格），具有以上不完整性的晶体，称为不完整晶体。 由于各种缺陷的存在，改变了完整晶体中原子的正常排列情况，使的晶体中某一区域的原子偏离了原来正常位置而产生了畸变，这种畸变使缺陷处晶面与电子束的相对位相发生了改;变，它与完整晶体比较，其满足布拉格条 件就不一样，因而造成了有缺陷区域与无缺陷的完整区域的衍射强度的差异，从而产生了衬度。根据这种衬度效应。人们可以判断晶体内存在什么缺陷和相变。 我们首先一般性的讨论当晶体存在缺陷时衍射强度的影响，然后再对不同缺陷的具体影响进行分析。 与理想晶体比较，不论是何种晶体缺陷的存在，都会引起缺陷附近某个区域内点阵发生畸变，如;;果我们仍然采用柱体近似的方法，则相应的晶体柱也将发生某种畸变，如图所示。 此时，柱体内深度Z处的厚度元dz 因受缺陷的影响发生位移R,其坐标矢量由理想位置的R n变为R n’： R n’= R n+ R 所以，非完整晶体的衍射波合波的振幅为： A=F∑n e-2πi Δk·R n e-2πi Δk·R n=e-2πi (g+s) · (R n+ R) = e-2πi (g · R n+ s · R n+ g · R+ s · R ) g · R n=整数， s · R 很小，忽略， s · R n=sz ; A=F∑n e-2πi Δk·R n= F∑n e-2πi sz· e-2πi g · R 与理想晶体的振幅φ=F ∑n e-2πi sz相比较，我们发现由于晶体的不完整性，衍射振幅的表达式内出现了一个附加因子e-2πi g · R ，如令α=2π g · R ，即有一个附加因子e-i α，亦即附加位相角α=2π g · R 。所以一般的说，附加位相因子e-i α的引入将使缺陷附近点阵发生畸变的区域（应变场）内的衍射强度有利于无缺陷的区域（相当与理想晶体）从而在衍射图象中获得相应的衬度。;因此，它是研究缺陷衬度的一个非常重要参数，它的数值合符号取决于缺陷的种类和性质，取决于反射面倒易矢量g和R的相对取向，