量测试验报告.doc

量測實驗報告 真空系統操作 姓名： 學號： 實驗日期： 實驗原理： (1) 迴轉油封幫浦 (2) 渦輪分子式幫浦 (3) 離子化真空計 實驗目的： 實驗步驟： 實驗數據與圖表： （一）粗抽（760 torr至5×10-3 torr）壓力變化紀錄表： 起始壓力值 torr 開始抽氣時間 時間 （秒） 壓力值 時間 （秒） 壓力值 5 160 10 170 15 180 20 190 30 200 40 220 50 240 60 260 70 280 80 300 90 320 100 340 110 360 120 420 130 480 140 540 150 600 （二）細抽（5×10-3 torr至1×10-7 torr）壓力變化紀錄表： 起始壓力值 torr 開始抽氣時間 時間 （秒） 壓力值 時間 （秒） 壓力值 時間 （秒） 壓力值 5 115 540 10 120 600 15 130 720 20 140 840 25 150 960 30 160 1200 35 170 40 180 45 190 50 200 55 210 60 220 65 230 70 240 75 260 80 280 85 300 90 320 95 340 100 360 105 420 110 480 （三）請畫出抽氣曲線”壓力760 ~ 1×10-7 torr” VS “時間sec”，並指出表面釋氣控制抽氣速率的區域。 時間 (second) 時間 (second) 壓力 (torr) （四）細抽（5×10-3 torr至1×10-7 torr）離子真空計電流變化紀錄表： 量測實驗用離子真空計電流相對應商業化離子真空計之壓力讀數 壓力(torr) 電流值(nA) 壓力(torr) 電流值(nA) 壓力(torr) 電流值(nA) （五）請畫出壓力與離子真空計電流的關係。預測真空度為1×10-9 torr時之電流？ 壓力 (torr) 壓力 (torr) 電流 (nA) (以壓力為X軸，電流讀數為Y軸作圖，並推導出趨勢線Y = aX + b) 討論與分析： 實驗相關問題： 1. 為何製作薄膜時需要真空環境? 2. 實驗中用了幾個幫浦，其作用之真空範圍為何? 實驗結論： 報告請於實驗後隔週週五晚上12點前email至dave210342@.tw