原创力文档- 1、本文档共3页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
聚焦離子束儀FIB
簡介：
聚焦離子束/電子束顯微技術的原理為利用離子鎗內擁有小於10nm的聚焦離子束離子源，利用此高強度離子源可直寫材料。聚焦離子束的基本系統單元包括離子源、離子光學、基板平台和真空腔體，先進的系統中還包含電子束系統與反應氣體注入系統，離子經由上層鏡組(Upper Lens)被聚焦與準直成平行的離子束，接著離子束經過質量篩選器(Mass Separator)與漂移管(Drift Tube)，質量篩選器是將不要的荷質比離子過濾，只讓正確的荷質比的Ga+離子通過，下方漂移管裡配有矯正散光的鏡組(Stigmatic Focus Lens)，可以聚焦與準直確保離子垂直的前進，下層鏡組(Lower Lens)接在漂移管之後，用來更進一步聚焦與降低束徑，接著是離子束偏移器(Beam Deflector)用來控制最後離子束聚焦在基板的位置。
二、型號：FEI Helios NanoLab? 600i
三、規格：
Elstar UHR immersion lens FESEM column
? Elstar electron gun with:
- Schottky thermal ?eld emitter
- Hot-swap capability
? 60 degree dual objective lens with pole piece protection
? Heated objective apertures
? Electrostatic scanning
? ConstantPower? lens technology
Electron beam resolution @ optimum WD
- 0.8 nm at 30 kV (STEM)
- 0.9 nm at 15 kV
- 1.4 nm at 1 kV
Electron beam resolution @ coincident point
- 1.0 nm at 15 kV
- 1.6 nm at 5 kV
- 2.5 nm at 1 kV
Ion beam resolution @ coincident point
? 4.5 nm at 30 kV using preferred statistical method
? 2.5 nm at 30 kV using selective edge Method
Landing voltage range
? E-beam: 350 V - 30 kV (50V - 30 kV with Beam Deceleration mode option)
? I-beam: 500 V - 30 kV Probe current
? E-beam: up to 22 nA
? I-beam: 1 pA - 65 nA (15 position aperture strip)
High precision 5-axes motorized stage
? XY: 150 mm, piezo-driven
? Z: 10 mm motorized
? T: - 10° to + 60°
? R: n x 360° (endless), piezo-driven
? Tilt accuracy (between 50° to 54°): 0.1°
? X,Y repeatability: 1.0 μm
Sample size
? Maximum size: 150 mm diameter with full rotation (larger samples possible with limited rotation)
? Maximum clearance between stage and coincidence point: 55 mm
? Weight: max. 500 g (including the sample holder
四、典型分析試驗結果：
使用聚焦離子束(FIB)作為觀察影像來源：
圖為電子影像與離子影像比較
以聚焦離子束製作試片
五、放置位置：工學院綜合大樓 130室
六、負責技術人員：賴時盈、陳學人
文档评论（0）