透明导电薄膜ZnO3aGa性能分析与其在太阳电池上的应用.pdfVIP

摘要 摘要 随着太阳能应用技术的不断发展，对于薄膜太阳电池各功能材料层的性能 要求也越来越高，透明导电膜作为薄膜太阳电池的窗口电极对于太阳电池性能 有很重要的影响。ZnO作为一种II．Ⅵ族的宽禁带结构材料，呈六角纤锌矿结构。 掺杂的ZnO薄膜更有利于提高其光电特性，比较常见的有铝掺杂氧化锌ZAO (ITO)相比，掺杂ZnO薄膜不仅具有良好的光电性能，而且成本低，制备简 单，热稳定性和化学性能稳定，作为透明导电薄膜有很大的开发潜力，在光伏 领域具有非常好的应用前景。 本论文主要研究如何利用孪生对靶直流磁控溅射系统以及单靶磁控溅射系 统在玻璃和PEN柔性衬底上制备ZGO膜，并将其应用于非晶硅薄膜电池，考 察不同溅射工艺对于电池性能的影响。论文主要包括以下几个部分： 1室温条件下，利用孪生对靶直流磁控溅射系统在玻璃衬底上无氧溅射陶 瓷靶制备ZGO薄膜。主要考察溅射压强以及溅射功率对于薄膜厚度和薄膜性能 的影响，综合比较薄膜的结构特性，电学及光学特性，优化工艺参数，获得电 阻率为5．07x104QGill，可见光透过率在80％--85％之间的透明导电膜； 2采用上述条件在PEN柔性衬