dad321切割机图解操作说明.docVIP

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PANJIT INTERNATIONAL INC. DAD321切割机 图解操作说明书 准备 1、检查AIR(在机台背面),正常压力0.5mpa。 2、检查纯水质,1MΩ以上。 3、检查水压,3公斤 开机操作 1、开切割机总电源至ON处(此开关于机台背面)。 2、开切割电源由OFF转至START,再转至ON(此开关于屏幕旁,上有钥匙控制)。 3、机台操作键盘 4、键盘功能介绍 (1) SET UP 0 高度设定键 (2) DISPLAY MODE Q 切割状态显示键 (3) SYS INIT V 初始化键 (4) SPNDL W 转轴旋转、停止键 (5) CUT WATER X 冷却水开关键 (6) C/T VAC Z 真空开关键 (7) 0 ~ 9 、 . 、 +/— 数值输入键 (8) CE 清除键 (9) ? 输入键 (10) ENTER 执行键 ︿ (11) EXIT 跳离键 (12) 〈 〉 方向移动键 ﹀ (13) HOME 回归原点键 (14) F1 A ~ F10 L 功能键 (15) DEVICE DATA P 装置数据键 (16) HAIR WIDE R 、 HAIR NARROW S 发线放宽缩小键 (17) SHIFT 英文字母转换键 (18) INDEX 跳格键 (19) SLOW 微调键 (20) Z ︿ F Z ﹀ G Z轴调整键 (请勿任意调整) (21) X 〈 M X 〉 N X轴调整键 (22) θ T — θ U θ轴调整键 (23) YΛ YV (24) ALARM — / Y轴调整键 CLR 讯号警示键/清除键 (25) START (26) OPTOPN STOP 开始/停止键 Y 额外选择键 (27) ZEM Z轴紧急停止键 5、屏幕出现[主目录] 6、按SYS_INIT,使机台初始化,圆盘自动做归位动作。 7、按SPNDL_W,开动转轴马达,一般产品转速达36000RPM,IR产品转速达25000RPM。 8、按SET UP_0,再按ENTER作高度设定(屏幕下方有指示,按ENTER圆盘移至左方,转轴自动落下至刀锋轻触圆盘边缘后上抬,按ENTER圆盘移至右方归位)。 9、按EXIT回到主目录,进入主目录下按F4 (型号参数目录)。 10、选取欲切割芯片之尺寸、种类后,按ENTER进入程序内确认内容无误后,回到主目录。 切割 1、进入主目录下按F1进行全自动切割。 2、连续按C/T_VAC_Z二次,显微镜退到Y轴底线,确认工作盘上干净且无异物。 3、将芯片置于切割盘上,连按C/T_VAC_Z二次,确认真空指示位于线区,显微镜移动至Y轴中央后,进行θ及Y方向对准。 ※真空开启时,指针需落在绿色区域的位置内。 4、按下DISPLAY_MODE_Q,可去除画面上的文字,较容易进行调整的工作。 5、使用SLOW、θ←?、θ→ 来微调使左、右影像中的切割道成一直线。 6、按X〈、X 〉移动X轴,确定基线与切割道平行。 7、使用SLOW、、,微调整切割发线对准芯片切割道中央位置。 8、按INDEX、、,确定Y轴跳格设定正确。 9、CH1 对准后,须再按INDEX、及 ,按ENTER旋转至CH2 重复(5)~(8)步骤 10、CH2对准动作后,需再按INDEX、、。 11、按START/STOP开始切割。 12、(1)CH1、CH2 切割5~10刀(小讯号组件使用之芯片5刀停机检查) 后自动停机,机台同时发生警报响(按警报消除声,将芯片表面水滴使用气枪吹走,检查屏幕上切割状况,若无异可继续作业。 (2)若切割刀痕不佳,位置基准未重合,则需用切割状态屏幕下的F1(基线调整),F5 (切割位置调整)及、来调整,并通知班长及RD协助处理。 13、切割完后,亦同样检查屏幕上切割状况。 14、连续按二次,关真空,取下芯片后用气枪将切割完之芯片表面的水分确实吹开,芯片表面不得有水残留以免芯片氧化。 15、切割完之芯片需依序置入Cassette内。 16、重复(2)~(15)直至批量完成。 17、每小时需执行测高一次。小讯号组件使用之芯片每切完一片即测高1次。 程序编写 五、不良切割状况排除 切割位置偏移 使用、上下调整基线的位置,然后按下 储存新设定,再按开始切割。 切割位置偏上,需使用往下調整 切割位置偏上,需使用往下調整 切割位置偏下,需使用往上調整 切割位置偏下,需使用往上調整 如果出现Y轴的最后移动方向必须指向后方的讯息 则

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