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PANJIT INTERNATIONAL INC.
DAD321切割机
图解操作说明书
准备
1、检查AIR(在机台背面),正常压力0.5mpa。
2、检查纯水质,1MΩ以上。
3、检查水压,3公斤
开机操作
1、开切割机总电源至ON处(此开关于机台背面)。
2、开切割电源由OFF转至START,再转至ON(此开关于屏幕旁,上有钥匙控制)。
3、机台操作键盘
4、键盘功能介绍
(1)
SET UP
0
高度设定键
(2)
DISPLAY
MODE
Q
切割状态显示键
(3)
SYS
INIT
V
初始化键
(4)
SPNDL
W
转轴旋转、停止键
(5)
CUT
WATER
X
冷却水开关键
(6)
C/T
VAC
Z
真空开关键
(7)
0
~
9
、
.
、
+/—
数值输入键
(8)
CE
清除键
(9)
?
输入键
(10)
ENTER
执行键
︿
(11)
EXIT
跳离键
(12)
〈
〉
方向移动键
﹀
(13)
HOME
回归原点键
(14)
F1
A
~
F10
L
功能键
(15)
DEVICE
DATA
P
装置数据键
(16)
HAIR
WIDE
R
、
HAIR
NARROW
S
发线放宽缩小键
(17)
SHIFT
英文字母转换键
(18)
INDEX
跳格键
(19)
SLOW
微调键
(20)
Z
︿
F
Z
﹀
G
Z轴调整键
(请勿任意调整)
(21)
X
〈
M
X
〉
N
X轴调整键
(22)
θ
T —
θ
U
θ轴调整键
(23)
YΛ
YV
(24)
ALARM
—
/
Y轴调整键
CLR
讯号警示键/清除键
(25)
START
(26)
OPTOPN
STOP
开始/停止键
Y
额外选择键
(27)
ZEM
Z轴紧急停止键
5、屏幕出现[主目录]
6、按SYS_INIT,使机台初始化,圆盘自动做归位动作。
7、按SPNDL_W,开动转轴马达,一般产品转速达36000RPM,IR产品转速达25000RPM。
8、按SET UP_0,再按ENTER作高度设定(屏幕下方有指示,按ENTER圆盘移至左方,转轴自动落下至刀锋轻触圆盘边缘后上抬,按ENTER圆盘移至右方归位)。
9、按EXIT回到主目录,进入主目录下按F4 (型号参数目录)。
10、选取欲切割芯片之尺寸、种类后,按ENTER进入程序内确认内容无误后,回到主目录。
切割
1、进入主目录下按F1进行全自动切割。
2、连续按C/T_VAC_Z二次,显微镜退到Y轴底线,确认工作盘上干净且无异物。
3、将芯片置于切割盘上,连按C/T_VAC_Z二次,确认真空指示位于线区,显微镜移动至Y轴中央后,进行θ及Y方向对准。
※真空开启时,指针需落在绿色区域的位置内。
4、按下DISPLAY_MODE_Q,可去除画面上的文字,较容易进行调整的工作。
5、使用SLOW、θ←?、θ→ 来微调使左、右影像中的切割道成一直线。
6、按X〈、X 〉移动X轴,确定基线与切割道平行。
7、使用SLOW、、,微调整切割发线对准芯片切割道中央位置。
8、按INDEX、、,确定Y轴跳格设定正确。
9、CH1 对准后,须再按INDEX、及 ,按ENTER旋转至CH2 重复(5)~(8)步骤
10、CH2对准动作后,需再按INDEX、、。
11、按START/STOP开始切割。
12、(1)CH1、CH2 切割5~10刀(小讯号组件使用之芯片5刀停机检查) 后自动停机,机台同时发生警报响(按警报消除声,将芯片表面水滴使用气枪吹走,检查屏幕上切割状况,若无异可继续作业。
(2)若切割刀痕不佳,位置基准未重合,则需用切割状态屏幕下的F1(基线调整),F5 (切割位置调整)及、来调整,并通知班长及RD协助处理。
13、切割完后,亦同样检查屏幕上切割状况。
14、连续按二次,关真空,取下芯片后用气枪将切割完之芯片表面的水分确实吹开,芯片表面不得有水残留以免芯片氧化。
15、切割完之芯片需依序置入Cassette内。
16、重复(2)~(15)直至批量完成。
17、每小时需执行测高一次。小讯号组件使用之芯片每切完一片即测高1次。
程序编写
五、不良切割状况排除
切割位置偏移
使用、上下调整基线的位置,然后按下
储存新设定,再按开始切割。
切割位置偏上,需使用往下調整
切割位置偏上,需使用往下調整
切割位置偏下,需使用往上調整
切割位置偏下,需使用往上調整
如果出现Y轴的最后移动方向必须指向后方的讯息
则
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