微腔型传感器的电化学表征及其应用初探-上海师范大学学报.PDF

维普资讯 第3l卷第1期 上海师范大学学报 (自然科学舨) Vo1．31．No 1 2002年 3月 】ou~ atofShanghaiTeachersUniversity mur Sciences) M ar．2002 微腔型传感器的电化学表征及其应用初探 贾能勤，朱 燕，章宗穰 (上海师范大学 生奇与环境科学学院 上海 200234 摘 要：利甩微机械加工技术、各向异性腐蚀技术研制了具有三堆结构 的微腔型传感器． 微芯片 (3x6ram)具有三雏腔体 (腔深 300x／m 铂工作电极 1．21．2ram ．Ag／AgCl拳比)． 工作电极与Ag／AgCl参比集成在同一微芯片上．作者对微腔型电极进行 了电化学特性 的 表征．并测试了微芯片上 Ag／AgCl参比电极 的性能．考察 了微腔型传感器在化学传感器、 生物传感器方面的初步应用．对H。O：．半乳糖进行检测． 关键词 ：微腔型传感器：微机械加工技术：