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- 2019-07-05 发布于天津
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第卷第期无机材料学报年月文章编号一一一一新型技术铁电厚膜的制备及电学性能研究夏冬林刘梅冬曾亦可李军黄众球刘少波华中科技大学电子科学与技术系武汉摘要采用新型一技术在基片上制备出了厚度为拼的铁电膜材研究了膜的结构及其介电铁电性能析显示厚膜厚料厚谱分呈现出纯钙钦矿相结构无焦绿石相存在电镜照片显示膜厚均匀一致无裂纹高致密厚度为户的厚膜的介电常数为介电损耗为剩余极化强度是户矫顽场是一关键词厚膜新型技术介电性能铁电性能中图分类号文献标识码引言近年来厚膜材料及厚膜器件已成为科学工作者研究的热点铁电薄厚膜材料由
第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 ,
年 月 ,
文章编号 一
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