空心阴极激光器放电理论和实验研究-物理电子学专业论文.docxVIP

华中科技大学博士学位论文摘 华中科技大学博士学位论文 摘 要 ；金属离子激光器由于在紫外波段(320nto)能够获得数百毫瓦的连续输出，在泵 浦连续紫外染料激光器、荧光激活细胞的分类、激光光刻及集成光电元件制作等领 域具有非常重要的应用价值。提高金属离子激光器的激励效率，延长电极的使用寿 命，是当前金属离子激光器的主要研究方向。由于金属离子激光器主要以放电激励， 因此对激光器工作条件下的气体放电基本过程的研究是寻求激光器高效率激励方式 和长寿命工作的基础√本文对金属离子激光器的主要放电激励方式——空心阴极放 电和容性耦合射频放电的基本过程进行了较深入和全面的理论和实验研究，对激光 器的实践研究工作具有一定的指导意义。 本文的理论研究工作是基于空心阴极放电和容性耦合射频放电的自洽模型的建 立之上。针对气体放电中阴极暗区的非平衡特性和局域场近似的局限性，建立了不 同性质粒子的不同处理方法。对主要从阴极暗区获得能量的快电子运用Monte Carlo 模拟方法，而对慢电子和离子运用流体模型方法。组合这两种模型，建立了自洽的 二维放电理论； 利用自洽的组合模型，研究了直流条件下矩形空心阴极放电和接近于实际装置 的槽型空心阴极放电的放电特性、电离特性和阴极溅射特性。f研究表明，槽型空心 阴极放电中槽底的电子发射对放电区的电离和阴极溅射有明显的影响。将离子 Monte Carlo模型和组合模型结合起来，研究揭示了实验观察到的空心阴极放电中出 现阴极表面溅射的不均匀凹坑分布的原因是阴极附近电场的不均匀分布造成了离子 流和密度的不均匀分布。理论和实验研究了平行于电场的磁场对空心阴极放电的影 响，并得到了“平行磁场具有约束负辉区中的快电子和增强放电电流的作用”的结 论。 华中科技大学博士学位论文理论和实验研究了容性耦合射频放电特性。理论上利用两电子组模型结合流体 华中科技大学博士学位论文 理论和实验研究了容性耦合射频放电特性。理论上利用两电子组模型结合流体 模型建立了射频放电的自洽理论模型。研究了电极上二次电子发射在射频放电电离 过程中的贡献和对放电参量的影响。理论证实了窄间距射频，，放电类似于空心阴极 ，一r 放电的结论。(实验上对容性耦合射频放电的阻抗匹配和高电流下的阻抗特性进行了 研究。通过分析不同馈入方式下射频电极上纵向电压的分布规律和射频放电的自发 辐射光谱，发现影响激光振荡的实现的主要原因是：边端馈入下电极上较强的纵向 电压波动使注入功率难以提高，因而未能通过放电溅射产生足够的金属蒸气。j 关键词： 空心阴极放电，阴极溅射，射频放电／金属离子激光器，自洽模型 II 华中科技大学博士学位论文Theoretical 华中科技大学博士学位论文 Theoretical and Experimental Investigation of Discharge for Hollow Cathode Lasers ABSTRACT Metal ion lasers have some potential applications in many areas such as pumping CW UV dye lasers，fluorescence—activated cell sorting，photolithography and micro fabrication and so on，due to the fact that they call provide hundreds of miliwatts of CW radiation in the UV(旯≤320nm)region．The practical applications of this kind of lasers demand higher excitation efficiency and longer lifetime of electrodes．Since glow discharge is the main means to excite the metal ion lasers，its characteristics highly influence the performance of laser,both in efficiency and lifetime．Based on a self-consistent theoretical model，much attention is paid to the physical processes of such discharge to better guide the design and construction of a real laser system． Considering the non—e