柔性微型阀对静电驱动振膜微泵压力性能的影响.PDF

中国机械工程第 卷第 期 年 月上半月 25 1 2014 1 柔性微型阀对静电驱动振膜微泵压力性能的影响 张 彧 王 文 赵小林 丁桂甫 暋 暋 暋 暋 暋 , , 上海交通大学 上海 200240 : , 摘要 将最小能量法与均匀压力载荷下圆薄膜大变形半解析解相结合 分析了静电驱动柔性微型阀 。 对静电驱动振膜微泵压升性能的影响 微型阀容积的引入会导致静电驱动振膜微泵的压升出现一定程 , 。 , 度的降低 但降低幅度远小于阀门容积对常规定排量泵的影响 微型阀的阀片以柔性薄膜为基片 因此 , 所需的关阀电压远远低于微泵泵腔的驱动电压 从而使静电微泵和微型阀运行的可靠性得到了极大的 提高。 : ; ; ; 关键词 微泵 微型阀 静电驱动 柔性振膜 中图分类号: ; : / TH38TP271.3暋暋暋暋暋暋DOI10.3969 .issn.1004-132X.2014.01.018 j EffectofFlexibleMicrovalvesononPressurePerformanceofElectrostaticallActuatedMicroum s y p p Zhan Yu暋Wan Wen暋ZhaoXiaolin暋Din Guifu g g g , , ShanhaiJiaoTon Universit Shanhai200240 g g y g : AbstractTheeffectofelectrostaticallactuatedflexiblemicrovalvesonthe ressure erformance y p p ofelectrostaticmicroum swasanalzedb combinin ener minimizationandtheanalticalsolu p p y y g gy y 灢 tionformembranedeformationunderuniform ressure.Theintroductionofthevalvevolumeieldsa p y , certaindecreaseinthe ressureriseofthemicrou