汽相沉积薄膜过程的计算机模拟-福州大学学报.pdf

24 5 () Vol. 24 No. 5 1996 10 Journal of Fuzhou University ( Natural Science) Oct. 1996 (, , 350002) 　　 , , . 　 ; ; , 〔1～ 3〕 , . . , . , . , . 1　 　　, . , , . , , . 1. 1　 1, xoy , x , y. . α, 2: () , ( 1 ) , ; a , , ( 1 b ). , , xoy p ( x, y) , , , Ⅰ . 1　　　　　　　　　 2 　　 : 1996- 02- 01 , , 1939, · 36· () 　　　　　　　　　 24 1. 2　 2, , , . . , 6. 2　 2. 1　 , , . , 0～ 1 0 , x α, , , x X (i) = x0 , y Y (i) = a, a. a ( 0～ 1 50 , = 0. 01) . - 1, a 2 ≤ 2 / ( 3) , x v a cosα : X ( i) = X ( i - 1) + 2a sin(c - T) Y ( i) = Y( i - 1) + 2a cos( c - T) v v = X ( i - 1) - [Y ( i - 1) - a ]tgT- x 0 c = arcsin [v cosT/( 2a) ] , , 3i i - 1 , y . 0°、 45°, 1500, 4 (a)、 4 ( b) . 2. 2　 ,, ; , , , , , , . Ⅰ . ( ) , j j y j ,j , 4a, , , . , , , y , y , . 0° 45°. 3000, 5. 2. 3　 , (