电容式热电式压电式检测元件.ppt

2009年12月10日 黄平捷 huangpingjie@zju.edu.cn 2011年10月12日 2.4 电容式检测元件 原理概述、优点和局限性 △物理量→△C 优点、不足 结构简单、低功耗、动态特性↑ 、非接触 C↓ △C ↓寄生杂散电容↑ 干扰→屏蔽 绝缘 2.4.1 电容检测元件的工作原理 极板形状—平板式 圆筒式 变化参数----△d \△A \△εr 2.4.2 电容元件的结构和特性 变极距式 差动变极距式 变面积式 变介电常数式 2.4.3 温度补偿及抗干扰问题 2.4.4 电容式检测元件的应用 2.4.1 电容检测元件的工作原理 实际是各类型可变电容器 △物理量→△C→测量线路→△V/ △I/△ f 极板形状：平板形和圆筒形 2.4.2 电容元件的结构和特性 （1）变极距式 知识点：为何说差动变极距式电容器提高了灵敏度、改善了线性特性、减少温度等环境因素和静电引力的影响？ 差动变极距式电容位移检测元件 （2）变面积式电容器 ① 平板式 直线位移、角位移 ② 圆筒式 直线位移、角位移 知识点：变面积式电容器，理论上，输入输出特性是线性的 （3）变介电常数式电容器 平板式：两个极板之间的ε发生△ ε→ △C 圆筒式：可推导： △ C∝液位h 线性关系 （4）等效电路 Rp Rs L C Ce 有效电容 忽略Rs Rp 2.4.3 电容式检测元件温度补偿与抗干扰