等离子体技术的工业应用及其实践教学平台的构建-物理试验.pptVIP

多功能微波等离子体装置上实验研究结果 等离子体化学气相沉积金刚石膜 （111）晶面显露的金刚石 （100）晶面显露的金刚石 实验研究内容：工作气体种类、比例、工作气压、基片温度、微波功率对金刚石形核生长的影响 金刚石的形核研究 氮化碳晶体的合成研究SiCN晶体 目前光学膜的制备方法主要有： 磁控溅射（射频和直流）：TiN，Cu， 电子束蒸发：TiO2，SiO2 直流溅射：各种金属膜 光学薄膜的制备与分析 直流溅射原理示意图 电子束蒸发原理示意图 实验内容: (1) 增透、增反射膜的设计、制备与测试 (2) 直流溅射参数与膜的质量、沉积速率的关系 实验项目五: 光学膜的设计与制备 实验项目六：电弧放电制备金属纳米粒子 实验内容: (1)采用电爆法制备金属纳米粒子. (2) 测定所制得的粒子的比表面积,研究放电参数对粒子粒径的影响. 实验项目七: 微波烧结功能材料 微波高温烧结应用领域: 高品质陶瓷、钴酸锂、氮化硅、碳化硅、氧化铝、氮化铝、氧化锆、氢氧化镁、铝、锌、高岭土、硫酸钴/草酸钴、五氧化二钒、磷石膏/硫石膏等；烧结电子陶瓷器件：PZT压电陶瓷、压敏电阻等。 烧结原理: 均匀混合的物料或预先压制成型的料坯放入微波电场中，其