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第 11 卷 第 3 期 光学 精密工程 Vol . 11 No . 3
2003 年 6 月 Optics and Precision Engineering J un . 2003
( )
文章编号 1004924X 2003
激光干涉微轮廓测量仪
宋 康 , 赵玉龙 , 蒋庄德
(西安交通大学 机械工程学院 ,陕西 西安 7 10049)
( )
摘要 :基于 Michelson 干涉仪测量原理研制的微轮廓测量仪 ,载物平台采用步进电机和压电陶瓷 PZT 两级闭环驱动与
定位 ,步进电机用于快速粗定位和扩大测量范围 ,压电陶瓷用于精密定位 ,重复定位精度为 10 nm ;测量光路采用共干涉
系统 ,对机械振动 ,温度漂移不敏感 ;测量范围20 mm ×20 mm ×0 . 4 mm ,纵向分辨率为 0 . 32 μ μ
m ,横向分辨率为 0 . 5 m 。
关 键 词 :微轮廓测量仪 ;压电陶瓷 ;激光干涉
中图分类号 : TH744 . 3 文献标识码 :A
Laser prof ilometer
SON G Kang ,ZHAO Yulong ,J IAN G Zhuangde
( S chool of M echanical E ng i neeri ng , X i ′an J iaotong Univers ity , X i ′an 7 10049 , Chi na)
Abstract : The laser p rofilometer based on t he Michelson interferomet ry p rinciple , has it s platform driven
by a stepper motor for fast rough po sition and exp ansion of measuring range , and by piezoelect ric ceramic
for p recision po sitioning wit h a repetitive po sitioning accuracy of 10 nm . A common p at h interference sys
tem , which is not sensitive to mechanical vibration and temperat ure drift , is used in t he measuring optical
p at h . The laser p rofilometer has a measuring range of 20 mm ×20 mm ×0 . 4 mm , a longit udinal resolution
of 0 . 32 μ μ
m , and a lateral resolution of 0 . 5 m .
Key words : p rofilometer ; piezoelect ric ceramic ; laser interferomet
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