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- 2019-06-20 发布于四川
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- | 2018-09-17 颁布
- | 2019-06-01 实施
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ICS 77.040
H 21 OB
中华人民共和国国家标准
GB/T 36705—2018
氮化镣衬底片载流子浓度的测试
拉曼光谱法
Test method for carrier concentration of gallium nitride substrates —
Raman spectrum method
2018-09-17 发布 2019-06-01 实施
发布
GB/T 36705—2018
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刖 弓
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)与全国半导体设备和材料标准
化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)共同提出并归口。
本标准起草单位:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司 、中关村天
合宽禁带半导体技术创新联盟、有色金属技术经济研究院、东莞市中傢半导体科技有限公司 、中国电子
技术标准化研究院。
本标准主要起草人:郑树楠、张育民、石林、邱永鑫、王建峰、徐科、付雪涛、杨素心、丁晓民、陆敏、
杨建。
T
GB/T 36705—2018
氮化¥家衬底片载流子浓度的测试
拉曼光谱法
1范围
本标准规定了利用拉曼光谱测试N型氮化傢衬底片载流子浓度的方法。
本标准适用于在蓝宝石、碳化硅、硅、氮化傢材料上生长的N型氮化傢衬底片载流子浓度的测试。
测试范围:1X IO17 cm-3 〜IX 10 cm-3 o
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的 。凡是注日期的引用文件 ,仅注日期的版本适用于本文
件 。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 4326非本征半导体单晶霍尔迁移率和霍尔系数测量方法
GB/T 8170数值修约规则与极限数值的表示和判定
GB/T 14264半导体材料术语
3术语和定义
GB/T 14264界定的术语和定义适用于本文件。
4方法提要
在一定温度下,物质晶格中的原子各自在其平衡位置附近作微振动(晶格振动),晶格振动的能量用
声子表示 。氮化傢材料中一定浓度的载流子与晶格振动相互作用 ,可以形成纵光学声子与载流子的耦
合模 (L() phonon-plasmon coupled mode,简称LOPC),该耦合模可以在拉曼光谱上出现低频支 、高频
支(lower and upper frequency branches,常标记为LPP—和LPP+)的特征峰 。该特征峰的峰位随载流
子浓度的变化而改变 ,通过峰位的变化可计算出载流子浓度 。本方法通过拉曼光谱可实现对N型氮化
稼衬底片载流子浓度的微区测试,测量直径为0.7 pm 〜2 Mmo
5干扰因素
5.1拉曼光谱常用来检测薄膜材料中的应力,因此需要在测试时考虑应力引入的影响 。当载流子浓度
较低时(约< 3X1017cm-3),以极化声子模A,(LO)的峰位对载流子浓度进行
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