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第6章 压电式传感器 6.1 压电效应及压电材料 6.2 压电式传感器测量电路 串联接法:输出电压大、电容小、适合用于以电压作为输出信 号、测量电路输入阻抗很高的情况。(前置放大器) 并联接法:输出电荷量大、电容大、时间常数大,适合用于测量 缓慢变化信号、且以电荷作为输出的况。(电荷放大器) 压电敏感元件是力敏元件,它能测量最终能将被测量转换成力的哪些物理量,如:压力,应力、位移、加速度等。适于动态测量,绝大多数加速度(振动)传感器属于压电式传感器。 主要缺点: 一、压电转换元件无静态输出,必须有一定的预应力,以保证在作用力变化时,压电元件始终受到压力。其次,是保证压电元件与作用力之间的全面均匀接触,获得输出电压(或电荷)与作用力的线性关系。 二、输出阻抗高,需高输入阻抗的前置放大器作为匹配,并且,很多压电元件的工作温度最高为250℃ 。 6.3 压电式传感器的应用 一、 压电式测力传感器 图 6 - 9 是压电式单向测力传感器的结构图, 它主要由石英晶片、 绝缘套、电极、上盖及基座等组成。 传感器上盖为传力元件, 它的外缘壁厚为0.1~0.5mm, 当外力作用时, 它将产生弹性变形, 将力传递到石英晶片上。石英晶片采用xy切型, 利用其纵向压电效应, 通过d11实现力—电转换。 石英晶片的尺寸为φ8×1 mm。该传感器的测力范围为0~50 N, 最小分辨率为0.01, 固有频率为50~60 kHz, 整个传感器重10g。 二、 压电式加速度传感器 图 6 - 10 是一种压电式加速度传感器的结构图。 它主要由压电元件、质量块、预压弹簧、基座及外壳等组成。 整个部件装在外壳内, 并用螺栓加以固定。 当加速度传感器和被测物一起受到冲击振动时, 压电元件受质量块惯性力的作用, 根据牛顿第二定律, 此惯性力是加速度的函数, 即 F=m·a (6 - 14) 式中: F——质量块产生的惯性力; m——质量块的质量; a——加速度。 此时惯性力F作用于压电元件上, 因而产生电荷q, 当传感器选定后, m为常数, 则传感器输出电荷为 q=d11F=d11ma (6 - 15) 与加速度a成正比。因此, 测得加速度传感器输出的电荷便可知加速度的大小。 三、 压电式金属加工切削力测量 图 6 - 11 是利用压电陶瓷传感器测量刀具切削力的示意图。 由于压电陶瓷元件的自振频率高, 特别适合测量变化剧烈的载荷。图中压电传感器位于车刀前部的下方, 当进行切削加工时, 切削力通过刀具传给压电传感器, 压电传感器将切削力转换为电信号输出, 记录下电信号的变化便测得切削力的变化。 * 6.1压电效应及压电材料 6.2压电传感器测量电路 6.3压电式传感器的应用 第6章 压电式传感器 返回主目录 压电式传感器的工作原理是基于某些介质材料的压电效应, 是典型的有源传感器。当材料受力作用而变形时, 其表面会有电荷产生,从而实现非电量测量。压电式传感器具有体积小#, 重量轻#, 工作频带宽等特点, 因此在各种动态力、 机械冲击与振动的测量, 以及声学、 医学、力学、宇航等方面都得到了非常广泛的应用。 某些电介质, 当沿着一定方向对其施力而使它变形时, 其内部就产生极化现象, 同时在它的两个表面上便产生符号相反的电荷, 当外力去掉后, 其又重新恢复到不带电状态, 这种现象称压电效应。 当作用力方向改变时, 电荷的极性也随之改变。 有时人们把这种机械能转为电能的现象, 称为“正压电效应” 。 相反, 当在电介质极化方向施加电场, 这些电介质也会产生变形, 这种现象称为“逆压电效应”(电致伸缩效应)。具有压电效应的材料称为压电材料, 压电材料能实现机—电能量的相互转换, 如图6 - 1所示。 在自然界中大多数晶体具有压电效应, 但压电效应十分微弱。随着对材料的深入研究, 发现石英晶体、钛酸钡、锆钛酸铅等材料是性能优良的压电材料。 压电材料可以分为两大类: 压电晶体和压电陶瓷 。 压电材料的主要特性参数有: (1) 压电常数压电常数是衡量
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