第1章+薄膜制备的真空技术基础.pptVIP

六、溅射离子泵 工作原理：靠高压阴极发射出的高速电子与残余气体分子相互碰撞后引起气体电离放电，而电离后的气体分子在高速撞击阴极时又会溅射出大量的Ti原子。由于Ti原子的活性很好，因而它将以吸附或化学反应的形式捕获大量的气体分子并使其在泵体内沉积下来，从而在真空室内实现无油的高真空环境。 特点：1、抽速对于不同的气体是不一样的（活性高的气体， 抽速大）； 2、溅射离子泵所抽除的气体分子不会在高温下再被 释放出来。 缺点：Ti电极的不断溅射使得离子泵的寿命是有一定限度的。 优点： 溅射离子泵是一种获得清洁超高真空的真空获得设备，它具有清洁、真空度高、无噪声、无振动、操作方便等优点。离子泵工作是封闭系统，不需要有连续工作的前级真空系统。  应用： 溅射离子泵是无油超高真空机组的主泵，可应用于高能粒子加速器，受控热核反应装置、电真空器件、半导体材料制备、电子显微镜、质谱仪等科学实验装置及其它需要超高真空的工业设备中 说明：由于不同的泵种的工作压力范围不同，实际运用中为达到一定的真空度，将两种或以上真空泵组合起来形成真空泵机组。 第四节 真空的测量 一、热偶真空规和皮拉尼真空规 二、电离真空规 三、薄膜真空规 一、热偶真空规和皮拉尼真空规 真空规：真空测量的元件被称为真空规。