数字集成电路老化故障预测和老化监测技术分析.pdfVIP

A Dissertation Submitted for the Degree of Master The Research on failure prediction and tracking monitor Technology of Aging for Digital Integrated Circuit By Xing Lu Hefei University of Technology Hefei, Anhui, P.R.China March, 2014 万方数据 万方数据 万方数据 致 谢 转眼到了学生生涯的尾声，但我们却不会停下学习的脚步，研究生的两 年半时光为我们今后的人生开启了一扇光明的大门。在这临别之际，心中有 期待，有不舍，有感恩。还记得大二那年梁老师为我们授课时，学识渊博， 神采飞扬，让我们这些初进大学校门的新生领略了科研的魅力，也认识到科 研必须要严谨认真，后来有幸成为梁老师的研究生，更加体会到科学研究是 一个需要用心探索的过程。梁老师时常教导我们科研必须要严谨，精益求精， 要不断创新，但必须要结合实际，而不是盲目创造。很感激梁老师为我们指 明了正确的科研方向，而梁老师的敬业精神也深深的感染了我们每一个人； 在生活中，梁老师待人亲切，处事正直，为我们树立了一个很好的榜样。在 此我要向我的恩师表示我最真诚的谢意！ 另外，还要特别感谢黄正峰副教授和丁贤庆老师在这两年半里对我科研 上的认真指导。感谢黄老师在学习中鼓励和督促我们不断进步，在生活上对 我们无微不至的关照，尽力帮助我们解决一切后顾之忧；您经常在课余组织 实验室的集体活动，使同学之间的友谊越发深厚，科研气氛也越来越浓厚。 感谢丁老师在我初入实验室时对我的指导，您教我学会自主学习，并且帮助 我更快的适应本科生到研究生的转变。 同时还要感谢系统结构研究室的欧阳一鸣老师、易茂祥老师、王伟老师、 严鲁明博士、徐辉博士、常郝博士、闫爱斌博士；感谢已毕业的 2010 级汪 静师姐、李志杰师兄、史冬霞师姐、刘彦斌师兄等对我学术研究上的帮助和 生活上的关爱！正是有你们的帮助，才使我的学习生活更加顺心！感谢张丽 娜、陈凡、韩建、陶志勇、王旭明、方文庆、王镜淞、张曦、谢云磊等 2011 级同学与我一起度过这两年半的快乐时光，感谢你们的扶持和包容，感谢遇 到你们，希望不管多久多远，勿相忘！也感谢 2012 级余天送、李军等师弟 们对我灵感的激发。感谢系统结构研究室！ 感谢我的父母和家人给我的爱，谢谢你们给了我一个自由无忧的人生开 端，谢谢你们与我一同分享我的喜怒哀乐，谢谢你们对我的一如既往信任！ 还要感谢我的朋友们给予我的友谊！ 最后，由衷的感谢百忙之中抽出精力评阅本论文的专家和老师们，谢谢 你们的宝贵意见！ 作者：邢 璐 2014 年 3 月 I 万方数据 摘 要 随着半导体工艺技术的发展，晶体管尺寸的快速缩减导致老化退化加剧，尤 其是NBTI 引起的老化现象。它已成为导致老化现象的首要因素，可以造成延 迟超过10%的退化。实验数据表明，NBTI 随着栅氧化层变薄和操作温度变