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第6章 压电式传感器 6.1 压电效应及压电材料 3） 介电常数对于一定形状、 尺寸的压电元件, 其固有电容与介电常数有关; 而固有电容又影响着压电传感器的频率下限。  4） 机械耦合系数在压电效应中, 其值等于转换输出能量（如电能）与输入的能量（如机械能）之比的平方根; 它是衡量压电材料机电能量转换效率的一个重要参数。 其中纵向轴 z 称为光轴, 经过六面体棱线并垂直于光轴的 x 轴称为电轴, 与 x 和 z 轴同时垂直的轴 y 称为机械轴。通常把沿电轴x 方向的力作用下产生电荷的压电效应称为“纵向压电效应”, 而把沿机械轴y 方向的作用下产生电荷的压电效应称为“横向压电效应”。 而沿光轴z 方向受力时不产生压电效应。  若在同一切片上, 沿机械轴y方向施加作用力fy, 则仍在与x轴垂直的平面上产生电荷qy, 其大小为  qy=d12 fy （6 - 2） 式中: d12——y轴方向受力的压电系数, d12=-d11; a、 b——晶体切片长度和厚度。 在陶瓷上施加外电场时, 电畴的极化方向发生转动, 趋向于按外电场方向的排列, 从而使材料得到极化。外电场愈强, 就有更多的电畴更完全地转向外电场方向。 让外电场强度大到使材料的极化达到饱和的程度, 即所有电畴极化方向都整齐地与外电场方向一致时, 外电场去掉后, 电畴的极化方向基本不变, 即剩余极化强度很大, 这时的材料才具有压电特性。 三、高分子材料的压电效应 高分子材料属于有机分子半结晶或结晶的聚合物，其压电效应比较复杂，对此不仅要考虑到晶格中均匀的内应变，还有考虑高分子材料中作非均匀内应变所产生的各种高次效应以及同整个体系平均变形无关的电荷位移而呈现的压电性。 聚偏氟乙烯 6.2 压电式传感器测量电路 压电传感器在实际使用时总要与测量仪器或测量电路相连接, 因此还须考虑连接电缆的等效电容Cc, 放大器的输入电Ri, 输入电容Ci以及压电传感器的泄漏电阻Ra, 这样压电传感器在测量系统中的实际等效电路, 如图6 - 6所示。 6.3 压电式传感器的应用 二、 压电式传感器的测量电路 压电传感器本身的内阻抗很高, 而输出能量较小, 因此它的测量电路通常需要接入一个高输入阻抗的前置放大器，其作用为: 一是把它的高输出阻抗变换为低输出阻抗; 二是放大传感器输出的微弱信号。压电传感器的输出可以是电压信号, 也可以是电荷信号, 因此前置放大器也有两种形式: 电压放大器和电荷放大器。 在图6 - 7（b）中, 电阻R = RaRi/(Ra+Ri), 电容C =Ca+ Cc+Ci, 而ua = q/Ca, 若压电元件受正弦力f = Fmsinωt的作用, 则其电压为 1. 电压放大器（阻抗变换器） 图6 - 7（a）、（b）是电压放大器电路原理图及其等效电路。  式中: Um——压电元件输出电压幅值Um = dFm/ Ca; d——压电系数。 由此可得放大器输入端电压Ui, 其复数形式为 的幅值为 输入电压和作用力之间相位差为 在理想情况下, 传感器的Ra电阻值与前置放大器输入电阻Ri都为无限大, 即ω（Ca +Cc+Ci）R1, 那么由式（6 - 8）可知, 理想情况下输入电压幅值Uim为 式（6 - 10）表明前置放大器输入电压Uim与频率无关。一般认为ω/ω03时, 就可以认为Uim与ω无关, ω0表示测量电路时间常数之倒数, 即ω0=1/［R（Ca + Cc + Ci）］。 这表明压电传感器有很好的高频响应, 但是, 当作用于压电元件力为静态力（ω=0）时, 则前置放大器的输入电压等于零, 因为电荷会通过放大器输入电阻和传感器本身漏电阻漏掉, 所以压电传感器不能用于静态力测量。  当ωR（Ca+ Cc+Ci）1 时, 放大器输入电压Uim如式（6 - 10）所示。式中Cc为连接电缆电容, 当电缆长度改变时, Cc也将改变, 因而Uim也随之变化。因此, 压电传感器与前置放大器之间连接电缆不能随意更换, 否则将引入测量误差。  2. 电荷放大器 电荷放大器常作为压电传感器的输入电路, 由一个反馈电容Cf和高增益运算放大器构成, 当略去Ra和Ri并联电阻后, 电荷放大器可用图6 - 8 所示等效电路, 图中A为运算放大器增益。由于运算放大器输入阻抗极高, 放大器输入端几乎没有分流, 其输出电压Uo为 