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- 2019-06-27 发布于安徽
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ABSTRACT
Withthe in
ofthesemiconductorrecent critical
development industry years，the
dimensionsof ckcuRsaretowardbelowthe22nm nodes．The
integrated technology
sizeofthedevicebecomes makescriticaldimensionbecomean
smaller,which
factortoaffecttheelectrical ofthedevice．Howtomeasureand
important properties
contro
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