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微热流量计 引言 热流量计（heat flow meter）也称热流计或热流传感器（heat flow transducer），是测量热流密度的关键元件，最早出现于20年代，有关制作方法、应用领域等方面的报告，多出现在50年代 ,而作为市售产品而实用化则在60年代后半期 。 热流量计是研究热量传输的重要传感元件，广泛用于冶金、石化、机械、能源、建筑、冷冻冷藏、环境工程、医学卫生以及航空航天等众多工业部门。随着科技发展和社会进步，人类对热能的研究开发和利用等方面给予了更多的关注 。 微热流量计的一般原理 众所周知，热的传递通常依赖于传导、对流、辐射等三种形式。由于对流热的传递是非常复杂的物理现象，一般不能单独直接测量，但传导和辐射过程比较单纯可以由单独的仪器来测量大致有温度差法（定常法）和温度上升法（过渡法）等两种测量方法 。 1、温度差法 热源发生的热，在其流过的物体中形成温度相同的等温面，该等温面的位置形状不随时间而变化时，单位时间内垂直贯穿等温面上微小面积流过的热量为： （1） 式中，——物质的热传导系数； ——与等流面垂直方向(x方向)的温度分布； 在有温度及两个等温面时： （2） 这时，热传导系数，厚度，在面积板材的两面的温度差，通过附加的热电偶测出其温差，由此可测得热流量。 2、温度上升法 温度计(包括周围的附属部件)的热容量为时，在时间内温度变化为时，在单位时间内转移到温度计的热量为： （3） 在辐射热流场合，温度由置于辐射条件下的温度计测得，为辐射于垂直断面的截面积；测得时间的温度变化，由此可知热流密度，这时，根据温度计的热容量，由标准热量发生装置求出既知的热流密度，求出辐射热流。 微热流量计的分类 热流量计可根据不同用途及结构有不同的分类方法。根据热流量计的性质的不同分为四种类型： 阻式热流量计：测量传导热流或热量损失； 辐射式热流量计：测量热流分布； 水热流量计：测量流体输送热流； 容式热流量计：测量瞬态变化热流。 若以结构来分类，有以下五种，即： 金属片式热流量计(slug或plug type)：使用已知热传导系数的金属片为敏感元件； 薄板式热流量计(Thin foil type)：薄箔的敏感元件做成差动热电偶形式； 热电堆式热流量计(Thermopile type)：把多对热电偶的输出串接，以提高灵敏度； 膜式热流量计(Thin film type)：利用金属箔膜的电阻变化； 热量式热流量计(Calorfic heat type)：利用物质的融解热或凝固潜热的形式。 下面就上面六种热流计作进一步的介绍。 1.金属片式热流量计(如图1) 敏感元件使用已知热传导系数和厚度的金属片，根据测出金属片的表、里两面间的温差可计算出热流速： （4） 式中：——金属片的热传导系数； ——金属片厚度； ——金属片的表、里两面间的温差(℃)。 由于它是利用已知热传导系数的金属片制成的，因而有时也称热传导或热流量计。这种形式的热流量计结构简单，用计算求值容易。而其缺点是： （1）感元件的灵敏度与温度有关； （2）随温度变化而改变，因而必须进行修正； （3）敏感元件安置于炉壁表面时，由于安置位置造成测量热流变化，对此必须进行修正。 总的来说，这种传感器的精度比较低。 2、薄板式热流量计 在金属薄板(康铜板)的两面粘贴金属箔并加镀层，敏感元件做成差动热电偶(也有用康铜箔为金属箔，本体用铜)，如图2所示。 通过薄板的热流，与差动热电偶的热电势有以下关系： （5） 式中：为修正系数。 该热流量计在高温下使用时，与会产生非线性，因而使用范围在热电势10以下为宜，而且金属箔的镀层也容易发生氧化烧损，因此，该类热流量计可用于温度较低环境。 3、热电堆式热流量计 在热传导系数小的耐热性电绝缘材料(软木及其他有和材料等)上，安置多个热电偶，并把其互相串接，以提高灵敏度，如图3所示。 这种热流量计用于测量热流量小的低温表面的分散热量比较方便。由图可见，热流量计的表、里有热电阻体，其热接点(热端)和冷接点(冷端)分别为铜和康铜，由适当的表皮材料覆盖。根据热学原理，热流量计的热流密度为： （6） 式中，一一热电阻体的热传导系数； 一一热电阻体厚度； 一一热端与冷端之间的温差。 热端与冷端之间的温差是由对热电偶热电势构成的，于是其输出为： （7） 式中，——热流计的输出； ——对热电偶的热电势； ——热电偶对数。 把(5)、(6)组合，热流密度为： （8） 4. 薄膜式热流量计 薄膜式热流量计不似热电堆式传感器，是自发电性的。它是由极薄的感温性的电阻膜(一般为铂膜)蒸镀在绝缘基底(通常为石英或玻璃)上，如图4所示。当表面加热时，金属膜电阻发生变化，该变化是与表面温度呈比例的。因此基底上的热流密度为： （9） 式中， ——基底表面的温度变化(℃)； ——