2、镀膜机的基本结构.ppt

离子源控制器 真空计种类 BPG:热电离真空计 PEG:冷电离真空计 SC2：管道真空计 SC1：爱发科真空计 抽气以及排气硬件系统-（图1） 机械泵 油吸附塔 罗茨泵 排气管道 粗抽阀 FV阀 油扩散泵 高真空阀 高真空阀 PLC抽气以及排气软件系统（图2） 真空泵 机械泵 罗茨泵 扩散泵 机械泵 作用： 前期抽气,为达到低真空的设备.还是罗茨泵的前级泵 原理：建立在玻意耳-马涅特定律的基础上的。PV=K（P-压强 V-体积 K-温度） 罗茨泵 作用：用来提高中间压力范围的抽气量 原理：罗茨泵是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外，还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度，可将罗茨泵串联使用。 扩散泵 作用：后期抽气，为达到高真空的设备，是整个真空抽气系统的主泵。 原理：1、当油扩散泵用前级泵预抽到低于1.0Pa真空时，油锅可开始加热，沸腾时喷嘴喷出高速的蒸气流，热运动的气体分子扩散到蒸气流中，与定向运动的油蒸气分子碰撞。 2、气体分子因此而获得动量，产生和油蒸气 分子运动方向相同的定向流动到前级，油蒸气被冷凝，气体分子排出，即被前级泵抽走而达到抽气目的。 * 介绍Optorun光学镀膜设备 设 备 型 号 讲 解 设备型号举例：OTFC 1300 DBI 设备种类 大小 配置 设备种类分为 OTFC和 Gener 真空室大小分为600、900、1300、1550、1800、2350 配置说明： C: 冷凝泵 D: 扩散泵 B: 电子枪 I: 离子源 设 备 机 构 总 成 真空腔体 抽气以及排气系统 真空测量仪器 全自动蒸发控制系统 真空室加热、基板系统 基板高速旋转机构 电子束蒸发系统 RF射频离子源 高精度光学监控系统 石英晶振以及速率监控系统 真空压力自动控制系统 冷却水压缩空气系统 冷凝器 一、 真 空 腔 体 1. 观 察 基 板 窗 口 观察基板窗口 成膜时通过观察窗可了解真空室内的情况 观察蒸发源 2. 遥 控 盒 功 能 MASK NO下降、EX抬起 SHUTTER IB:离子源挡板开关 EB1:电子枪1挡板开关 EB2:电子枪2挡板开关 HEARTH HEARTH1:左坩埚台旋转 HEARTH2:右坩埚台旋转 DOME ROTATION 工件盘 顺时针方向旋转 工件盘 逆时针方向旋转 3. 真 空 室 内 部 4. 坩 埚 种 类 点 坩 埚 环 形 坩 埚 确 认 坩 埚 位 置 标 准 确认坩埚台中心、坩埚、电子束蒸发源是否在一条直线上 松开联轴器螺丝，调整编码器位置，直到补偿数字为0，然后锁紧螺丝 5. 电 子 枪 原 理 及 作 用 电子束蒸发示意图 电子枪是加速电子轰击靶并发光的一种装置，它发射出具有一定能量、一定束流以及速度和角度的电子束，电子受栅极电位的影响，在阳极加速电压下形成汇聚的电子束，在磁场作用下电子束得到进一步聚焦并偏转180°或270°射入装有镀膜料的坩埚中，其动能变成热能使蒸镀材料蒸发沉积于基片上形成薄膜 电 子 枪 总 装 图 　　真空室 电子枪 1 电子枪 2 高压导入端子 扫 描 控 制 器 电子枪电控柜 低压导入端子 　 控 制 系 统 电 子 枪 种 类 电子束蒸发源种类: 电子束偏转角度180°，运行轨迹为“C”的C型枪 电子束偏转角度270°，运行轨迹为“e”的e型枪 e 型枪 C 型枪 e型枪U字形灯丝 c型枪蚊香形灯丝 镀膜前确认上、下犄角是否平行，水平 标 准 标 准 松开此螺丝调节犄角平行度 松开螺丝后犄角下方垫铜片，确保犄角的水平 镀膜前电子枪注意事项 确认坩埚挡板高度是否80mm 坩埚挡板打开角度90左右 坩埚挡板架子需要包铝箔 镀膜之前用吸尘器吸取灰尘，确保真空室内部清洁 80mm 挡板角度打开90左右 铝箔包住 6. 离 子 源 的 作 用 离子源辅助电子束示意图 1.清洁基片表面 2.夯实膜层，使其致密 3.提高膜牢固度 离 子 源 种 类 RF 离子源 GL 离子源 中和器 镀膜前离子源注意事项 用角度仪确认离子源的水平及内外角度 确认坩埚挡板高度 离子源挡板打开角度 离子源挡板架子需要包铝箔 确认地线是否连接（共三根） 接地线 7. 辅正板