第7章 潔淨室之空調系統設計與能源消耗分析.pdf

第 7 章 潔淨室之空調系統設計與能源消耗分析 7.1 前言 因為電子工業對於潔淨室的需求，再加上潔淨室機器所散發大量的熱量，需 要處理大量的外氣，且全年 24 小時都再運作的情形下，其所造成的耗能是相當 大的。在此我們就以幾種不同的空調箱及其不同的搭配種類來加以討論。 7.2 應用計算實例 某 300mm DRAM 廠潔淨室實際設計參數作為案例分析如下 諸元 外氣條件 31℃ DB, RH= 80% 室內條件 23℃ DB, RH= 45% 潔淨室面積 2 11,182m 潔淨室高度 3.5m 作業人數 500 循環量 6,543